Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC Gamma #293605209 zu verkaufen

ID: 293605209
Weinlese: 2012
Spin coater Developer module (2) Spray coater modules (2) HMDS Chambers (2) Cool plates Hotplate Does not include spin coater module 2012 vintage.
KARL RUß/MICROTEC Gamma ist eine Photoresist-Ausrüstung zur Unterstützung fortschrittlicher Mikrofabrikation, Lithographie und optischer Anwendungen. Es besteht aus einer Vielzahl von Komponenten, wie einer UV-Strahlungsquelle, einem optischen Tisch und einem Präzisionspositionierungssystem, die eine Umgebung bieten, die für die Herstellung von Mikro- und Nanostrukturen geeignet ist. Die UV-Lichtquelle hat eine fein einstellbare Leistungsintensität und Wellenlänge mit einem Spektralbereich von 100nm bis 500nm. Es liefert bis zu 350mW/cm2, um die Belichtungszeit zu reduzieren und Muster höherer Auflösung zu erhalten. Diese Quelle eignet sich sowohl für widerstandsfähige als auch für nicht widerstandsfähige photolithographische Materialien, was eine Vielzahl von Anwendungsmöglichkeiten ermöglicht. Der optische Tisch besteht aus einer Aluminium- oder Stahlkonstruktion mit einer großen Oberfläche, die auf eine Ebenheit von weniger als 1 µm lasergeschnitten ist und eine äußerst genaue Positionierung der optischen Komponenten während der photolithographischen Operationen ermöglicht. Es montiert auf einem verstellbaren Stahlsockel, der bis zu 200kg unterstützt, wodurch die Stabilität während der Belichtungszeiten verbessert wird. Die Präzisionspositioniereinheit besteht aus zwei hochpräzisen Mikrometerköpfen mit einem Bewegungsbereich von jeweils 5mm. Durch die unabhängige Steuerung der Bewegung jedes Mikrometerkopfes können vielfältige Mikro- und Nanostrukturen mit hochpräziser Positionierung erreicht werden. MICROTEC Gamma enthält auch eine Vielzahl von zusätzlichem Zubehör, um die Produktionsprozesse zu erleichtern. Dazu gehören eine Grundplatte und ein Rahmen zum Befestigen der Fotomaske, eine Stufe zum Ausrichten des Substrats und der Maske, ein Vakuumfutter und eine bewegliche Stufe für den Suchmodus. Insgesamt bietet KARL RUß Gamma sicherlich eine Umgebung, die sich gut für die präzise Herstellung von Mikro- und Nanostrukturen bis hin zum Nanometerspiegel eignet. Seine optisch stabilen Techniken, schnellen Belichtungszeiten und eine Vielzahl von Zubehör machen diese Maschine für fortgeschrittene Photolithographie-Anwendungen geeignet.
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