Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC Gamma #293605215 zu verkaufen
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Tippen Sie auf Zoom
ID: 293605215
Weinlese: 2008
Spin coater
Spin coater module
Spray coater module
Developer module
Control panel
Load ports
SANKYO Robot
HMDs tool
Slot centering tool
Media cabinets
Pressure control
Media cabinets: Tank System
JULABO Temperature controller
Anlagen PC
Operating system: Windows 7
Temperature stack:
Hot plate
Cold plate
2008 vintage.
KARL RUß/MICROTEC Gamma ist eine Photoresist-Ausrüstung, die höchste Genauigkeit und Präzision für fortschrittliche Mikrofabrikationsprozesse bietet. Das System ist eine hochgenaue und zuverlässige Plattform zur Herstellung feiner detaillierter, hochauflösender Photolackstrukturen. MICROTEC Gamma ist mit einem Roboterarm, hochgenauen linearen Stufen, einer automatisierten 8 „x12“ Wafer-Ladeeinheit und einer hohen Vergrößerung, Vollfeld-Bildaufnahmefähigkeit ausgestattet. Die Maschine ist so konzipiert, dass sie bis zu 350 Wafer pro Stunde verarbeitet und dabei eine hohe Genauigkeit und Wiederholbarkeit gewährleistet. Das Photoresist-Verfahren nutzt ultraviolette Strahlung, um gewünschte Strukturen auf dem Wafer zu erreichen. Eine Zoomsteuerung ermöglicht es dem Benutzer, die Vergrößerung des optischen Werkzeugs und die Belichtungszeiten zu ändern. Die Risikoposition wird durch die automatisierte Kontrolle der Expositionsdosis, der Dosisrate und der Spotgröße bei Bedarf gesteuert. KARL RUß Gamma verfügt zudem über einen integrierten Ofen zur Verbesserung der Belichtungsauflösung durch Steuerung der Belichtungstemperatur. Gamma kann für eine Vielzahl von Mikrofabrikationsverfahren wie Lithographie, Ätzen, Sputtern und Planarisierung eingesetzt werden. Auf die Waferoberflächen aufgebrachte Photolackschichten können manuell oder mit automatisierten Reinigungssystemen entfernt werden. Zusätzlich kann KARL RUß/MICROTEC Gamma zur Entfernung von Photolackschichten vor dem Aufbringen neuer Photolackschichten eingesetzt werden. Das integrierte Ausrichtungsmodell gewährleistet eine hohe Genauigkeit und Wiederholbarkeit beim Aufbringen mehrerer Photolackschichten oder bei der Durchführung von Belichtungskorrekturen. MICROTEC Gamma ist auch mit einer erweiterten Software-Suite ausgestattet, die es dem Benutzer ermöglicht, Daten aus der Belichtung zu analysieren und die Ergebnisse für zukünftige Referenzen zu speichern. Die Software kann auch Belichtungsprobleme erkennen und bei verschiedenen Problemen im Photolackprozess automatisch korrigieren. Abschließend ist KARL RUß Gamma eine ideale Photolackanlage für hochgenaue Mikrofabrikationsverfahren. Es bietet eine breite Palette von Funktionen, die es dem Benutzer ermöglichen, mit einem kostengünstigen Setup hervorragende Ergebnisse zu erzielen. Das automatisierte Wafer-Ladesystem, der integrierte Backofen, die leistungsstarke Software-Suite und automatisierte Steuerungen schaffen die ideale Kombination für fortschrittliche Photoresist-Anwendungen.
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