Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC Gamma #293745276 zu verkaufen

ID: 293745276
Weinlese: 2011
Developer system 2011 vintage.
KARL RUß/MICROTEC Gamma ist eine hochmoderne Photolackverarbeitungsanlage, die den anspruchsvollen Anforderungen der anspruchsvollsten Anwendungen gerecht wird. Es ist ein einstufiges Belichtungssystem, das alle Merkmale eines Lithographie-Prozessflusses integriert. MICROTEC Gamma besteht aus einer vollautomatischen, geschlossenen Mikroverarbeitungseinheit für alle Resiststoffe, einschließlich organischer, hoher Temperatur, hoher Empfindlichkeit und wässriger. KARL RUß Gamma kann alle Arten von Substraten verarbeiten, einschließlich Keramik, Glas, Halbleiterorganik, Metalle und sogar Legierungen. Es verwendet einen Excimerlaser KrF-193nm hoher Leistung, um die höchste optische Leistung zu bieten und eine hervorragende Liniengrößensteuerung und -auflösung zu gewährleisten. Es beinhaltet auch eine anspruchsvolle Wafer Handhabungsmaschine für präzise Wafer Positionierung und Homogenität. Die Prozesskammer von Gamma bietet eine inerte Stickstoffatmosphäre, die Sauerstoffverunreinigungen beseitigt, empfindliche Photoresistschichten schützt und die gesamte Prozessleistung verbessert. Darüber hinaus bietet sein fortschrittliches UV-Steuerwerkzeug eine gleichmäßige Anregung über große Bereiche mit ausgezeichneter Dosishomogenität. KARL RUß/MICROTEC Gamma verzichtet auf manuelle Lithographie, da es automatische Ausrichtung, Maskenplatzierung und Waferbelichtung bietet. Seine algorithmusgesteuerte Software automatisiert alle Stufen des Mikroverarbeitungsprozesses, einschließlich Waferreinigung, Substratvorbehandlung, Messtechnik, Resist Dispensing, Entwicklerausgabe und Druckerausrichtung. MICROTEC Gamma bietet eine umfassende Bestandskontrolle, die eine wiederholbare und zuverlässige Waferbearbeitung gewährleistet. Es bietet auch eine Reihe von Sicherheitsfunktionen wie automatische Abschaltung und Nothaltestellen. Das Modell ist in einer Vielzahl von konfigurierbaren Optionen verfügbar, so dass es für bestimmte Anwendungen hochgradig anpassbar ist. Insgesamt ist KARL RUß Gamma eine All-in-One-Lösung für die Photolackverarbeitung. Es bietet hervorragende optische Leistung, zuverlässige Ergebnisse und Sicherheitsmerkmale, die es ideal für empfindliche und komplexe Lithographie-Prozesse machen.
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