Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC Gamma #293778062 zu verkaufen
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KARL RUß/MICROTEC Gamma ist ein Photoresist-Gerät zur Herstellung von mikroelektrischen und optischen Komponenten. Es wurde entwickelt, um mehrere Photolacktypen und -prozesse gleichzeitig zu behandeln und gleichzeitig eine hohe Genauigkeit und Wiederholbarkeit im Ätzprozess zu gewährleisten. "MICROTEC Gamma ist ein All-in-One DL-2Y Photoresist-System, das sowohl extrem transparent als auch chemisch resistent DL-2Y Photoresist kombiniert, die beide häufig als Maske für Lithographie und Trockenätzen verwendet werden. Der DL-2Y Photolack ist polymerbasiert und kann daher sowohl für die optische als auch für die Röntgenmikrolithographie verwendet werden. KARL RUß Gamma bietet eine automatisierte Lösung für die Beschichtung und Entwicklung von Photolacken. Dadurch entfallen manuelle Anwendungen und eine wesentlich höhere Kontrolle der Schichtdicke der Photolackschicht. Die Maschine bietet einen auskragenden automatischen Waferlader mit erweiterten Hardwareschnittstellen, der eine flexible Kontrolle über die Materialverteilung und die Vorbackparameter von Photoresist ermöglicht. Ein eingebauter Scanhead wurde entwickelt, um die Ausrichtgenauigkeit mit einer Genauigkeit von bis zu + 0,1 um zu verbessern. Darüber hinaus verfügt das Gamma-Tool über ein hochauflösendes digitales Bildverarbeitungsmaterial für mehr Genauigkeit bei der Bildvisualisierung. KARL RUß/MICROTEC Gamma nutzt ein zweistufiges Heiz- und Kühlmodell, um eine ideale Photolackhärtung und -entwicklung zu erreichen. Es verfügt auch über integrierte Hubstifte für die genaue Platzierung der Fotolackmaske während des Ätzens. Ein PTFE-beschichteter Förderer mit doppelter Dichte ermöglicht das einfache Be- und Entladen von Wafern aus der Kammer. MICROTEC Gamma bietet eine Vielzahl von Optionen für Durchmesser, Beschichtungsdicken und Folienmaterialien und ist somit für spezielle Aufgaben sehr anpassbar. Schließlich verfügt KARL RUß Gamma über ein fortschrittliches Hintergrundbeleuchtungssystem zur einfachen Erkennung und Überprüfung von Defekten. Es ist auch mit einer intuitiven grafischen Benutzeroberfläche gestaltet und ist äußerst benutzerfreundlich. Mit der Gamma-Photoresist-Einheit können Betreiber das Knacken von Photoresist, das Abrollen von Kanten und den Verlust kritischer Dimensionen minimieren, was zu hochwertigen mikroelektronischen und optischen Komponenten führt.
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