Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC Gamma #293798807 zu verkaufen

KARL RUß/MICROTEC Gamma ist eine Photoresist-Ausrüstung für Mikro- und Nanofabrikationsprozesse. Dieses System verwendet Projektionslithographietechniken, um ein Muster von einer Maske auf ein Substrat zu übertragen. Es kann verwendet werden, um Photolackmuster mit Maßgenauigkeit auf der Mikron- und Nanometerskala zu entwickeln. Das Gerät ist mit UV-Lichtquellen und Beleuchtungsoptiken ausgestattet. Dazu gehören ein 198 nm Excimerlaser, ein 157 nm Fluorlaser und ein Satz variabler numerischer Aperturen (NA). Es kann auch g-line (436 nm), i-line (365 nm) und deep-UV (248 nm) Strahlung oder Kombinationen von Lichtwellenlängen verwenden, um das Belichtungsspektrum zu erweitern. Die Maschine ist mit fortschrittlichen Belichtungs- und Musterfunktionen ausgestattet, darunter ein automatisierter Wafer-Aligner, Ausrichtungsmarkierungen, ein präzises Bewegungswerkzeug, eine programmierbare Intensitätsmodulation im Vollfeld, Funktionen zur automatischen Fokussierung und automatischen Aktualisierung sowie eine Neupositionierungsstufe. Es ermöglicht auch Belichtungsübersetzungen (Verschiebungen) und hochauflösende Abbildungen der gemusterten Photoresistbereiche. MICROTEC Gamma ist in einem Standard-Bench-Top-Format gebaut und bietet eine bequeme Nassbearbeitung von Photolackmaterialien mit einer beheizten Spinnscheibe. Darüber hinaus kann das Asset leicht in eine saubere, planare Trockenverarbeitungsumgebung auf Vakuumbasis integriert werden, um mehrschichtige Strukturen und Nanoimprint-Prozesse zu schaffen. KARL RUß Gamma liefert Durchsatz und Stabilität für hochgenaue Musterung für die anspruchsvollsten Projekte in der Mikro- und Nanotechnologie und ermöglicht die Entwicklung von Merkmalen mit Abmessungen von wenigen Nanometern bis zu mehreren Mikrometern. Dadurch wird sichergestellt, dass die hergestellten Bauteile präzise sind und Eigenschaften aufweisen, die für die unterschiedlichsten Technologien wie MEMS, Sensoren, optoelektronische und biomedizinische Geräte geeignet sind. Darüber hinaus verfügt das Modell über eine Abfallsammeleinrichtung, einen Netzanschluss und ein Schutzglasfenster in der Vakuumkammer. Schließlich ermöglicht eine leistungsstarke benutzerfreundliche Software, Ruß MICROTEC Premiere™, es dem Benutzer, schnell und einfach Masken zu erstellen, Daten zu importieren und automatisch Details jeder Belichtung zu protokollieren.