Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC Gamma #293814499 zu verkaufen
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ID: 293814499
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2006
Spin coater, 8"
Coating module
No gearset cover
(2) Input/Output (I/O) ports
Genmark GB4 Robot
Mechanical centering station
(3) Hotplates
(2) Coolplates
No HMDS module
(2) Waste tanks
Wafertec F-30/F Photoresist pump
2006 vintage.
KARL RUß/MICROTEC Gamma ist eine Photoresist-Ausrüstung für hochauflösende Mikrofabrikation. Photoresist ist ein lichtempfindliches Material, das verwendet wird, um Muster auf einem Substrat für die Mikrofertigung zu erzeugen. MICROTEC Gamma-System verwendet eine hochpräzise faseroptische Beleuchtungseinheit, die eine Vielzahl von Photoresists mit hochauflösenden Bildern exakt positionieren und belichten kann. Diese Maschine verfügt auch über eine eingebaute Vorausrichtstufe, die es ermöglicht, das Substrat für den Belichtungsprozess genau vor der Linse zu positionieren. KARL RUß Gamma ist ideal für einstufige Photolithographieverfahren und mehrstufige Prozesse mit mehreren Resistschichten. Es ist in der Lage, Muster mit Merkmalsgrößen von 10 Mikrometer bis weniger als ein Mikrometer mit verschiedenen Arten von Resist einschließlich Standard, negativen und positiven Resists zu produzieren. Gamma Asset hat einen modularen Aufbau, der es ermöglicht, je nach Anwendung unterschiedliche Plattengrößen und unterschiedliche Photolithographie-Konfigurationen zu verwenden. Auch das Modell KARL RUß/MICROTEC Gamma ist äußerst präzise und wiederholbar, so dass Muster mit hoher Genauigkeit und Wiederholgenauigkeit hergestellt werden können. Der Belichtungsprozess von MICROTEC Gamma Geräten kann mit einer Vielzahl von Parametern gesteuert werden, einschließlich Belichtungszeit, Lampenleistung, Wellenlänge und Fokussierungsposition. Dadurch eignet sich das System für die Anwendung von Mustern mit hoher Auflösung und Bildwiederholbarkeit. Ein einzigartiges Merkmal der KARL RUß Gamma Einheit ist ihre Fokusbewegungssteuerung, die eine genaue und wiederholbare Überwachung der Fokusposition während einer Belichtung ermöglicht. Dies hilft, Bildunschärfen durch falsche Fokussierung zu vermeiden und sorgt für höchste Auflösung der Bilder. Gamma-Maschine enthält auch ein Peltier-Effekt-Kühlwerkzeug, um die Temperatur der Resistschicht während der Belichtung genau und genau zu steuern. Dies hilft, unerwünschte Schwankungen der Resistviskosität zu vermeiden, was zu einer verbesserten Auflösung und Wiederholbarkeit der Muster führt. Darüber hinaus umfasst KARL RUß/MICROTEC Gamma Asset eine Vielzahl weiterer Funktionen, um seine Bedienung zu erleichtern, wie ein optischer Betrachter zur Inspektion von Maskenhaltern und Substraten, ein programmierbares Auto-Focus-Tracking-Modell und ein „Timer-Mode“ -Programm zur Steuerung der Belichtungszeit und anderer Parameter. Insgesamt ist MICROTEC Gamma ein hervorragendes photolithographisches System für die hochauflösende Mikrofertigung, das Präzision, Genauigkeit und Wiederholbarkeit für die anspruchsvollsten Anwendungen bietet.
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