Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC Gamma #9299570 zu verkaufen

ID: 9299570
Weinlese: 2008
Cluster system 2008 vintage.
KARL RUß/MICROTEC Gamma ist eine Fotoresistausrüstung für die Verarbeitung von Substraten mit bis zu 250 mm Durchmesser. Das System besteht aus einem Photomasken-Aligner und einem Track. Der Aligner ist für die hochauflösende Ausrichtung und Belichtung von Maske und Substraten bis 250 mm ausgelegt. Die Bahn enthält einen Flüssigkeitshandler und einen Ofen zur Photolackbeschichtung bzw. zum Backen. Das Gerät weist einen Schrittmotor und eine Kamera auf, die eine automatische Steuerung der Bedienung bzw. Registrierung der Ausrichtgenauigkeit des Aligners ermöglicht. MICROTEC Gamma Maschine ist ein Trockenlithographieverfahren, das weiter in zwei Stufen unterteilt wird; Maskierung und Bildgebung sowie Photolackbeschichtung. Die Maskierungs- und Abbildungsstufe beinhaltet die Verwendung einer Lichtquelle, die durch eine Maske auf das Substrat gerichtet ist. Dadurch ergibt sich das strukturierte belichtete Substrat. Die Photoresist-Beschichtungsstufe beinhaltet die Verwendung eines Flüssigkeitshandhabers zur Beschichtung des Substrats mit Photoresist. Der Flüssigkeitshandler gibt mittels einer Düse Photolack auf das Substrat aus. Anschließend wird der Ofen zur thermischen Verarbeitung des beschichteten Substrats verwendet, um die Photoresistlösung zu aktivieren. KARL RUß Gamma Werkzeug ist weiter mit einem Vakuumfutter ausgestattet, das einen Vakuumkontakt der Maske auf der Oberfläche des Substrats ermöglicht. Dies ermöglicht eine präzise Ausrichtung der Maske auf die Substratoberfläche sowie einen gleichmäßigen Kontakt zwischen Maske und Substrat. Darüber hinaus bietet Gamma asset eine Schrittmotorsteuerung und eine Motor-Nachschlagetabelle, die die Modellleistung erhöht. Der Schrittmotor ermöglicht eine präzise Steuerung der Belichtungsfläche, während die motorische Nachschlagetabelle die Möglichkeit bietet, die Ausrichtungsgenauigkeit in Bezug auf die Belichtungsfläche zu steuern. Die KARL RUß/MICROTEC Gamma Ausrüstung verfügt außerdem über einen Diagrammaufnehmer zur schnellen und genauen Aufzeichnung der Gesamtergebnisse der Lithographie. Insgesamt ist MICROTEC Gamma ein hocheffektives Photolacksystem, das den Anforderungen des modernen Photolithographieverfahrens gerecht wird. Das Gerät verfügt über fortgeschrittene Merkmale wie einen Schrittmotor, ein Vakuumfutter und eine motorische Nachschlagetabelle, die eine zuverlässige und präzise Ausrichtung der Maske auf die Oberfläche des Substrats ermöglichen. Dadurch wird ein gleichmäßiger Kontakt zwischen der Maske und dem Substrat gewährleistet, wodurch genaue Lithographieergebnisse erzielt werden können. Darüber hinaus bietet die Maschine einen Kartenrekorder, mit dem die Lithographieergebnisse einfach abgebildet werden können und eine schnelle und genaue Prozessdokumentation ermöglicht wird.
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