Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC Gamma #9314869 zu verkaufen

KARL RUß/MICROTEC Gamma ist eine Photoresist-Ausrüstung für die Herstellung von mikroelektronischen und optoelektronischen Bauteilen. Das System ist ein automatisiertes, multifunktionales Werkzeug für die Lithographie und liefert präzise, wiederholbare Ergebnisse. Es eignet sich für die Verarbeitung von flachen Substraten mit einer maximalen Größe von 150 mm und einer minimalen Merkmalsgröße von 0,2 μ m. Das Gerät integriert mehrere Technologien wie einen Resist Coater und Entwickler, einen Stepper/Scanner, ein Laser-Interferometer und einen Bild- und Mustergenerator. Die Komponenten der Maschine können für eine Vielzahl von Anwendungen zusammenarbeiten, einschließlich ultradünner Filmtechniken. Das Werkzeug bietet auch eine Vielfalt von Steindruckverfahrenfähigkeiten einschließlich der grauen Skala, binär an, kontaktieren Sie, Nähe und Stief-Und-Mehrmaligaussetzungsschemas. Der Stepper/Scanner ist in der Lage, Linsen-zu-Photomasken-Abstände von 0,5 bis 24 mm mit Ausrichtungsgenauigkeit von wenigen Nanometern zu handhaben. Das Asset kann hochauflösende Muster mit einer Auflösung von bis zu 0,5000 μ m und einer Genauigkeit von 0,2 μ m erzeugen. Das Modell bietet eine präzise Kontrolle der Resistbeschichtungsdicke, Belichtungsintensität und Dauer sowie Entwicklungszeit und -zustand. Die integrierte MST-Messtechnik untersucht mit einem Laserinterferometer Strukturen, die auf dem entworfenen Substrat freiliegen. Dies hilft, wiederholbare Ergebnisse bei minimaler Ausfallzeit zu gewährleisten und übermäßige Nacharbeiten aufgrund von Fehlstellungen oder unerwarteten Unregelmäßigkeiten zu vermeiden. Darüber hinaus verfügt das System über ein integriertes Softwarepaket zur Auftragsverwaltung, Mehrbenutzersteuerung, Prozessautomatisierung und Datenanalyse. Diese Software hilft Benutzern, Muster schnell und einfach zu erstellen, zu verwalten und zu speichern und die Zeit bis zur Entwicklung zu minimieren. Darüber hinaus bietet das Gerät einen verbesserten hochgenauen Bildgenerator für die Belichtung einer Vielzahl von Mustertypen mit verbesserter Auflösung und Genauigkeit. Abschließend ist MICROTEC Gamma eine automatisierte und modulare Photoresist-Maschine, die präzise, wiederholbare Ergebnisse für die Herstellung mikroelektronischer und optoelektronischer Komponenten bietet. Es integriert eine Reihe von Technologien und Funktionen, um konsistente Ergebnisse mit minimaler Ausfallzeit zu erzielen. Es eignet sich für Anwendungen mit hoher Auflösung, hoher Genauigkeit und bietet ein integriertes Softwarepaket für Auftragsverwaltung, Mehrbenutzersteuerung und Prozessautomatisierung.