Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC JWS LTC #9289946 zu verkaufen

KARL RUß/MICROTEC JWS LTC ist eine fortschrittliche Photolackverarbeitungsanlage zur Herstellung von Halbleiterbauelementen. Das System bietet eine umfassende Palette von Funktionen für die Lithographie, Radierung und Reinigung der Resistschicht. Das Gerät verwendet ein resistbeschichtetes Substrat, das in einer Vorrichtung montiert ist, die ultraviolettem (UV) Licht ausgesetzt ist. Dieses Licht bricht die resistlöslichen Moleküle ab und setzt die darunterliegende Oberfläche dem Ätzmittel aus. Während dieses Prozesses akzeptieren die belichteten oder „beschatteten“ Bereiche das Ätzmittel, während die belichteten oder „hellen“ Bereiche unbeeinflusst bleiben. Die Maschine bietet eine präzise Steuerung der Belichtungsparameter und ist für die Arbeit mit den unterschiedlichsten Widerständen ausgelegt. Die präzise Kontrolle der Expositionsdosis, der Spotgröße und des Belichtungspunkts gewährleistet präzise Ergebnisse, unabhängig davon, welche Art von Resist verarbeitet wird. Neben der präzisen Steuerung von Belichtungsparametern verfügt das Tool über ein hochauflösendes Bildverarbeitungsmaterial, das eine optimale Fokussierung sowie die Beibehaltung präziser Profile über große Flächen ermöglicht. Dies bedeutet eine höhere Bildqualität und eine präzise Steuerung der Resistoberfläche. Das Modell verfügt zudem über eine eigene Ätzstation zur präzisen Steuerung von Ätzparametern. Dadurch ist sichergestellt, dass Ätzzeiten und Profile für jede Anwendung konsistent und vorhersehbar sind. Die Geräte sind auch für die Integration robuster Reinigungsprotokolle nach dem Ätzen ausgelegt. Dies ermöglicht eine optimale Prozessausbeute. Schließlich umfasst das System eine Überwachungseinheit, die eine kontinuierliche Überwachung der Substrattemperatur während der Belichtung, nach der Belichtung Backen, Ätzen und Reinigung ermöglicht. Diese Echtzeitüberwachung sorgt für optimale Prozesssteuerung und Leistung. Insgesamt ist MICROTEC JWS LTC eine fortschrittliche Photolackverarbeitungsmaschine, die präzise Lithographie- und Ätzergebnisse bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen liefert. Das Tool bietet eine präzise Steuerung der Belichtungsparameter, hochauflösende Bildgebung, Ätzstation, robuste Reinigungsprotokolle und Echtzeitüberwachung.