Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC M 2000E #9316057 zu verkaufen
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ID: 9316057
Developer system
Type: 3-Track positive developer
Electronic cabinet
Temperature control cabinet
Operation manual
Technical documentation
2001 vintage.
KARL RUß/MICROTEC M 2000E ist eine Photoresist-Anlage, mit der Submikronstrukturen erzeugt werden. Das System besteht aus drei Hauptkomponenten: einem Pinzettenspender, einem Spincoater und einer digitalen Bildgebungseinheit (Monocrhomatic, Color, UV, Fluorescence und IR). Die Pinzette Flüssigkeitsspender wird verwendet, um den Photolack auf das Substrat auszugeben und zu strukturieren. Der Spincoater dient dazu, den Photolack gleichmäßig auf der Oberfläche des Substrats zu verteilen und den Photolack in seine richtige Form zu lenken. Die digitale Bildverarbeitungsmaschine bietet eine Auflösung, die Nicht-Photoresist-Systemen weit überlegen ist und eine breite Palette von Auflösungs- und Inspektionsmöglichkeiten ermöglicht. MICROTEC M 2000E bietet die Möglichkeit, Funktionsgrößen kleiner als 0,2 µm herzustellen, die je nach Anwendungsanforderungen weiter eingestellt werden können. Es bietet verschiedene Beleuchtungsoptionen wie monochromatisches Licht, Farblicht, ultraviolettes (UV) Licht, fluoreszierende Beleuchtung und Infrarot-Bildgebung. Neben den verschiedenen Beleuchtungsmöglichkeiten bietet KARL RUß M 2000E auch eine Vielzahl von Photoresists, wie positiven Photoresst, negativen Photoresst, Entferner-Typ und mehrfach belichteten Fotoresst. Darüber hinaus hat dieses Werkzeug die Fähigkeit, hohe Durchsatzchargen bei Produktionsraten von bis zu 1.000 Wafern pro Stunde zu erzeugen. Dies hilft, Produktionszyklen zu verbessern und Kosten des Herstellungsprozesses zu reduzieren. Darüber hinaus ist er mit Wafergrößen von 2 bis 12 Zoll kompatibel und verfügt über eine vollautomatische Wafer-Handhabung für einen stressfreien Betrieb. Neben der Fähigkeit, Submikronstrukturen zu erstellen, bietet M 2000E mit seinen automatisierten Fokus- und Fokus-Offset-Funktionen beispiellose Präzision und Genauigkeit. Es enthält auch ein schnell adressierendes Wafer-Mapping-Modell, das hilft, eine genaue und wiederholbare Produktion kleiner Funktionen zu gewährleisten, auf die Sie stolz sein können. Schließlich bietet KARL RUß/MICROTEC M 2000E Photoresist-Geräte eine leistungsstarke Kombination aus Präzision, Genauigkeit, Durchsatz und Wirtschaftlichkeit.
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