Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC RC 8 #9015890 zu verkaufen

KARL SUSS / MICROTEC RC 8
ID: 9015890
Spin coater Several sizes of chucks and Gyrsets available.
KARL RUß/MICROTEC RC 8 ist eine Photolackanlage, die die Herstellung hochkomplexer mikroelektronischer Teile und Strukturen ermöglicht. Das System basiert auf einer gestuften Graustufentechnologie (SGS), die Lichtinterferenzen verwendet, um das Harz oder Resist-Material mit einem komplizierten Satz von Grautönen zu belichten, um ein präzises Muster zu erreichen. MICROTEC RC 8 ist für die Arbeit mit einer breiten Palette von Photoresists konzipiert. Es kann mit üblichen negativen oder positiven photopolarisierten Filmen sowie Flüssigkeitsstrahl und abgegebenen Resists verwendet werden. Darüber hinaus verwendet die Einheit ein Tieftemperaturverfahren, um den Resist auf das Substrat aufzubringen, um sicherzustellen, dass das Polymer und die Hafteigenschaften des Resists intakt sind. Die Maschine verwendet einen direkt schreibenden Lithographiekopf, der eine Gammabestrahlung von 300 W/cm2 mit einer räumlichen Auflösung von bis zu 5 µm liefert. KARL RUß RC 8 unterstützt Substratgrößen bis 400 x 400 mm und bietet einen Arbeitsbereich von -3 bis + 25 mm in Z-Achsen-Auflösung. Der bildgebende Prozess umfasst 4 Stufen: Vorbelichtung, Nachbelichtung, Ätzen und Backen. Diese Stufen werden über eine benutzerfreundliche grafische Oberfläche verwaltet. RC 8 kann sowohl hohe Genauigkeit als auch Geschwindigkeit in seinem Betrieb erreichen. Es ist in der Lage, bis zu 3000 Wafer/Stunde zu verarbeiten und passt die Bestrahlungs- und Belichtungszeiten automatisch an, um optimale Ergebnisse zu erzielen. Das Werkzeug wird auch Fehler identifizieren und beseitigen, um eine hohe Ausbeute aus dem Photomaskierprozess zu gewährleisten. Darüber hinaus verfügt KARL RUß/MICROTEC RC 8 über eine Vielzahl fortschrittlicher Funktionen, wie Temperaturkompensation und Strahlformung für eine hochgenaue Belichtungssteuerung. Das Asset unterstützt zudem erweiterte berührungslose Widerstände für extrem dünne Schichtresistenzanwendungen. MICROTEC RC 8 ist ein umfassendes Photolackmodell, das bemerkenswerte Ergebnisse für die komplexe mikroelektronische Fertigung liefert. Es ist eine ideale Lösung für die Produktion von High-End-Mikroelektronik, und sein innovatives Design und seine Eigenschaften sorgen für einen zuverlässigen Ertrag.
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