Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC RC 8 #9223422 zu verkaufen

ID: 9223422
Wafergröße: 8"
Spin coater, 8" CT62 Programmable process controller.
KARL RUß/MICROTEC RC 8 ist eine Präzisions-Photolithographie-Ausrüstung, die in Halbleiterherstellungsprozessen eingesetzt wird. Unter einer Reinraumumumgebung arbeitet dieses System bei der Bereitstellung von Komponenten und Materialien, die in integrierten Schaltungen (ICs) und elektronischen Geräten verwendet werden. MICROTEC RC 8 wird vom deutschen Hersteller MICROTEC GmbH hergestellt und bringt fortschrittliche Photolithographie in die industrielle Produktion. Die Einheit besteht aus einer vakuumdichten Prozeßplatte (Wafer Chuck) und einem Reticle-Tisch, und die Prozeßplatte wird dann verwendet, um den Wafer zu beladen, der von 4-Zoll bis 8-Zoll-Größe variiert. Dadurch ist der Wafer bei Musterübertragungsprozessen sicher. Es werden eine Reihe von Linsen verwendet und das reflektierte Licht vom Retikelmuster wird dann von der Linse zum Wafer hin gesammelt, um die Oberfläche mit einem Photoresistmaterial zu beschichten. Der Mechanismus erzeugt Komponenten auf jedem Wafer effizient durch aufeinanderfolgende Belichtungen von Licht und Spiegelbildreplikationen aus der Netztabelle. Darüber hinaus ermöglicht die Maschine variable Schrittfelder, die eine größere Flexibilität beim Einstellen von Maskenausrichtungen bieten. Die alleinige Integration hoher Genauigkeitsausrichtungsmöglichkeiten und deren Unterdrückung von Durchlicht durch Beugung und Absorption bietet dem IC-Herstellungsprozess weitere Vorteile. KARL RUß RC 8 sorgt auch durch seine überlegene Überlagerungsgenauigkeit im Vergleich zu anderen Systemen für erfolgreiche Musterübertragungsprozesse. Es nimmt eine unabhängige Scan-und Fokus-Felder, um ultimative Präzision in Maske Muster Ausrichtung zu gewährleisten. Durch die Kombination eines Rahmenpuffers mit Laserstrahlmessung hat das Werkzeug seine Genauigkeit durch Messungen der beleuchteten Laserstrahlen noch weiter verbessert. Das Asset ist mit einem automatisierten Wafer-Tracking-Modell zur Überwachung der optimalen Position aller Wafer während des Prozesses ausgestattet. Der Reinraumanschluss ist mit seinen eingebauten Gasverteilsystemen und Roboterscheibenhandlern gewährleistet. Diese fortschrittlichen technischen Spezifikationen gewährleisten Anwendern eine hervorragende Photolithographie-Leistung bei fast jeder Gelegenheit. Insgesamt ist RC 8 eine hochzuverlässige Fertigungsausrüstung, die kostengünstige und leistungsstarke Photolithographie-Funktionen für die Produktion integrierter Schaltungen (ICs) bereitstellt. Durch den Einsatz seiner automatisierten Wafer-Tracking und unabhängige Scan-und Fokus-Felder, ist die Ausrüstung in der Lage, IC-Chips als überlegen in Qualität und Langlebigkeit, die sich als ein großer Vorteil in vielen aktuellen Elektronik-Fertigungsprozessen zu produzieren.
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