Gebraucht LEYBOLD APS 904 #9240499 zu verkaufen

LEYBOLD APS 904 ist eine Photoresist-Ausrüstung zur Belichtung von lichtempfindlichem Material auf Substraten zum Zwecke der Lithographie und der Geräteherstellung. Es bietet Submikron-Auflösungsfunktionen, hohe Genauigkeit und saubere Kantenprofile mit einem Chrom-, Iridium- oder Nickel-Resist-Verfahren. APS 904 ist ein hochmodernes System, das digitale Bildgebungstechnologie für Lithographieanwendungen verwendet. Diese Einheit kann Bilder auf Substrate so klein wie 0,3 µm aufdrucken. Um diese Auflösung zu erreichen, verwendet die Maschine eine optische Quelle, die durch einen Strahlteiler und auf ein mehrstufiges optisches Projektionswerkzeug gelangt, um einen senkrechten Ausgangsstrahl aufrechtzuerhalten. Die Abbildung erfolgt, indem der Strahl digital fokussiert und anschließend durch eine computergesteuerte Platte aus Linsen und Spiegeln geführt wird. Diese sind so angeordnet, dass sie ein virtuelles Bild des projizierten Objekts auf dem Substrat bilden. LEYBOLD APS 904 verfügt über ein duales In-Line-Photoresist-Asset. Dieses Modell verwendet ein spezielles ultra-niedriges Absorptionsglas mit einer optischen Dichte größer als 1,45, um die „Hintergrundbelichtung“ effektiv zu reduzieren. Das Gerät weist eine variable Wiederholrate auf, die in 0,1 Sekundenschritten von 0,5 bis 1 Sekunde einstellbar ist. Dies ermöglicht einen präzisen Lithographiedruck und erhöht den Durchsatz. Darüber hinaus verfügt APS 904 über ein halbautomatisches System zur Erkennung von Partikeln in der Luft. Diese Einheit verfügt über die Verwendung von künstlichem Licht, so dass Partikel, die in der Luft suspendiert sind, für ihre Größe und Position diagnostiziert werden können. Die Maschine kann so programmiert werden, dass sie das Photolackwerkzeug stoppt, wenn übermäßige Luftpartikel detektiert werden, wodurch die Sicherheit des Lithographievorgangs erhöht wird. LEYBOLD APS 904 wird auch mit einer zweistufigen, vakuumarmen Anlage zur Kontrolle von Beschichtung und Haftung geliefert. Das zweistufige Vakuummodell besteht aus einer Schrupppumpe und einer nacheinander arbeitenden Molekularpumpe. Dies gewährleistet eine effiziente Entfernung eingeklemmter Gase und ermöglicht eine bemerkenswert saubere Vakuumumgebung. Insgesamt ist APS 904 eine zuverlässige und genaue Photolackausrüstung, die hochauflösende Bilder auf sichere und effiziente Weise erzeugen kann. Der innovative Einsatz von Technologie und einzigartige Eigenschaften ermöglichen eine einfache Anpassung an verschiedene Lithographieanwendungen.