Gebraucht LEYBOLD HERAEUS 2450C #9152147 zu verkaufen
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ID: 9152147
Weinlese: 1998
Coating machine
Speed: 700m/min
Material:
BOPP : 15-50µ
1998 vintage.
LEYBOLD HERAEUS 2450C Photolackausrüstung ist ein fortschrittliches Ätz- und Verarbeitungssystem, das eine photolithographische Strukturierung fortschrittlicher Halbleiterbauelemente ermöglicht. Es ist eine kompakte, automatisierte Einheit, die eine zweistufige Clusterkonfiguration verwendet, die eine doppelseitige Maskenmusterung auf 4 "-Wafern ermöglicht, die sowohl mit Kontakt- als auch mit Näherungsausrichtung belichtet werden kann. 2450C verwendet branchenübliche PCS und CMPprocessing Tools, um die Genauigkeit und Zuverlässigkeit der Prozesse zu erhöhen. Eine branchenführende, präzise dosierte mechanische Wafer-Ausrichtmaschine sorgt für eine genaue Registrierung von Dunkelfeldüberlagerungen auf der oberen und unteren Waferseite. Ein Flüssigkristallbildmonitor mit 6-Achsen-Strahlsteuerung liefert höchste Auflösung und verbesserten Kontrast für anspruchsvolle Lithographieaufgaben. LEYBOLD HERAEUS 2450C bietet überlegene Leistung in vielen kritischen Bereichen der Photolackverarbeitung. Es verfügt über eine temperaturgesteuerte Vakuumplatte, die konstante Temperatur und Haftung auf dem Substrat hält. Das Tool ist auch mit automatisierten Belichtungs- und Entwicklungsprozessen ausgestattet, die fortschrittliche Algorithmen verwenden, um den Ertrag zu verbessern. Seine großen, automatisierten Dosierköpfe geben den Photolack für eine gleichmäßige Entwicklung und optimierte Prozessergebnisse präzise auf den Wafer aus. 2450C verfügt darüber hinaus über einen integrierten Spin-Coater, der eine präzise Steuerung der Photolackbeschichtung ermöglicht und Schmutz nach der Beschichtung entfernt. Sein umfassendes Softwarepaket ist auf Programmierbarkeit ausgelegt und kann verwendet werden, um Rezepte und Prozessparameter für eine effizientere Verarbeitung zu speichern. Darüber hinaus unterstützt LEYBOLD HERAEUS 2450C fortschrittliche Photolackprozesse wie Doppelschichtmusterung, Mehrschichtmusterung, Strukturierung der oberen und unteren Schicht, Resiststreifen und reaktives Ionenstrahlätzen. Es unterstützt auch erweiterte Funktionen wie elektrische Überspannung Prävention und O2 Plasmaätzen. Das Asset ist auf ultimative Flexibilität ausgelegt und kann auf die Anforderungen der anspruchsvollsten Photoresist-Verarbeitungsanwendungen aktualisiert werden. 2450C ist ein zuverlässiges und leistungsstarkes Photoresist-Modell, das dank seines hochmodernen Funktionssets und seiner Leistungsfähigkeit auch komplexe Fertigungsprozesse effektiv unterstützt. LEYBOLD HERAEUS 2450C ist eine wesentliche Bereicherung für jedes Elektroniklabor, das eine präzise Photolithographie für die Geräteherstellung benötigt.
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