Gebraucht LEYBOLD HERAEUS Syrus 1105 #293819408 zu verkaufen
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ID: 293819408
Weinlese: 2000
Vacuum coating machine
Ignition counter: 31.220 hours
INFICON XTC/2 Deposition controller
LEYBOLD Pocket EB Gun, sweep controller
(3) Bottom heaters
Diffusion pump, water cooled baffle
POLYCOLD PFC 661 Chiller
(2) Sector plates sets
Step up transformer
Step down transformer
SIEMENS PC/PLC controller
Manuals
Rotary pump, blower
2000 vintage.
LEYBOLD HERAEUS SYRUS 1105 ist eine digitale Photoresist-Ausrüstung, die für das Mikropattern kleiner Bauelemente wie Halbleiterchips und optische Bauelemente entwickelt wurde. Das System verfügt über eine erweiterte Steuerschnittstelle, die eine präzise Steuerung der Belichtungsparameter ermöglicht, um hochauflösende Muster feinster Details zu erzeugen. Das Gerät verfügt über eine motorisierte Waferstufe, die bis zu 8-Zoll-Wafer mit bis zu 8 Empfindlichkeitsstufen unterstützen kann. Die Bühne ist auf einer XYZ-Plattform montiert und kann so konfiguriert werden, dass sie den beschichteten Wafer dreht, um den Photolack den gewünschten Mustern auszusetzen. Ein integrierter Touchscreen ermöglicht die präzise Eingabe von Parametern und ermöglicht die Einstellung von X-, Y- und Z-Achseneinstellungen, Belichtungszeit, Energieeinstellungen und UV-Energieeinstellungen. SYRUS 1105 verwendet eine fortschrittliche Bildverarbeitungsmaschine, um präzise Belichtungszeiten und Mustergenauigkeit zu gewährleisten. Das Tool verfügt über eine integrierte CCD-Kamera mit bis zu 5 Megapixel Auflösung, die zur präzisen Positionierung des Wafers und Abbildung der gemusterten Bereiche verwendet werden kann. Die Kamera ist auf einer automatisierten Theta-Achse montiert, die eine genaue Winkelausrichtung des bildgebenden Materials relativ zum rotierenden Wafer ermöglicht. Das Modell enthält auch eine optionale Laserausrichtung, um eine genaue Musterausrichtung auf dem beschichteten Wafer zu gewährleisten. Das System ist hochautomatisiert, mit Steuerung der Waferstufe, Belichtungszeit, Energieeinstellungen und UV-Energieeinstellungen. Eine eingebaute Vakuumeinheit hält den Wafer während des Belichtungsprozesses sicher fest und sorgt für einen konstanten Druckkontakt zwischen Wafer und Photolack. Schließlich ist die Maschine mit einem Sicherheitswerkzeug zum Schutz von Personal und Ausrüstung ausgestattet. Diese Anlage soll den Belichtungsprozess abschalten, wenn ein plötzlicher Notfall erkannt wird. Insgesamt ist LEYBOLD HERAEUS SYRUS 1105 ein fortschrittliches digitales Fotolackmodell, das für die präzise Mikroverarbeitung kleiner Komponenten entwickelt wurde. Das Gerät sorgt für eine präzise Steuerung der Belichtungsparameter und automatisierte Waferbewegung, so dass hochauflösende Muster mit feinsten Details erzeugt werden können. Darüber hinaus sind Sicherheitssysteme vorhanden, um Personal und Ausrüstung zu schützen.
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