Gebraucht LEYBOLD HERAEUS SYRUS-C 1350 #9228481 zu verkaufen

LEYBOLD HERAEUS SYRUS-C 1350 ist eine Photoresist-Prozessanlage für den Einsatz im Photolithographiebereich. Dieses System wurde entwickelt, um Photolackeigenschaften zum Schutz von Schaltungsmustern auf Halbleiter- und Wafersubstraten bereitzustellen. Es ist in der Lage, bis zu 13-Zoll-einstufige beschichtete Wafer sowie 8-Zoll-4emes und 12-Zoll-6emes Wafer-Arrays zu verarbeiten. Mit dieser Einheit werden lichtempfindliche Schichten aus Photolack auf Substraten für den lithographischen oder Ätzprozess erzeugt. LEYBOLD HERAEUS SYRUS C1350 verwendet mehrstufige Beschichtungstechniken, die die Steuerung des Wafer-zu-Substrat-Verhältnisses für optimale Prozessergebnisse ermöglichen. Das Verfahren umfaßt das Aufbringen einer Photolackschicht auf die Substratoberfläche, das Einbrennen der Photolackschicht auf eine vorbestimmte Temperatur und das Aufbringen weiterer Photolackschichten. Diese Maschine ermöglicht auch die Verarbeitung sowohl einstufiger als auch vierteiliger Beschichtungen mit gleichmäßiger Abdeckung. Mit einem CAD-Werkzeug werden Photoresistlinien auf ein Substrat gedruckt und die Höhe des zu ätzenden Musters mit Hilfe von halbautomatischen Laserinterferometern bestimmt. Anschließend wird ein Laserstrahl auf den Wafer fokussiert, um das gewünschte Muster freizulegen. Nach der Belichtung wird der Wafer dann einem Entwicklerprozess unterzogen, um die nicht belichteten Teile des Photolacks zu entfernen. SYRUS-C 1350 bietet modernste Funktionen, einschließlich einstellbarer Dosierungssteuerung für jede Exposition, lokalisierte musterspezifische Belichtung und Prozessautomatisierungsfunktionen. Es ist auch in der Lage, hochauflösende Bilder bis zu 0,2 Mikrometer. Das Asset bietet dem Anwender die Möglichkeit, manuelle, halbautomatische oder vollautomatische Prozesse zu verwenden, die je nach Anwendung unterschiedliche Mengen an Kontrolle und Anpassung ermöglichen. Weitere Vorteile sind ein flexibles Nadeldesign, das eine gleichmäßige Abdeckung des Substrats und ein präzises Photolackmuster gewährleistet. SYRUS C1350 bietet eine qualitativ hochwertige und zuverlässige Resistverarbeitung, mit der Anwender komplexe Strukturen mit hoher Präzision herstellen können. Es ist ein wertvolles Werkzeug für die Herstellung von hochauflösenden elektronischen Schaltungen und Komponenten. Das Modell bietet ein breites Spektrum an Features und Funktionen, die die Herstellung von Produkten für eine Vielzahl von Anwendungen ermöglichen.