Gebraucht LEYBOLD HERAEUS TCO #9259572 zu verkaufen
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ID: 9259572
Coating system
Aqua trap
LEYBOLD AF 40-65
RUVAC WSU 501
LEYBOLD Vacuum
LEYBOLD EV 63 EP.
LEYBOLD HERAEUS TCO ist ein Photolacksystem zur Optimierung von Lithographieverfahren in der Halbleiterherstellung. Photoresists sind ein Polymermaterial, das bei Belichtung chemisch verändert und in dem gewünschten Muster geätzt wird, das zur Übertragung der Lithographie auf eine Halbleiteroberfläche erforderlich ist. TCO umfasst sowohl Positive als auch Negative Tone Entwickler, einen Entwickleradditiv Ti-SAA und Entwicklerstabilisator, um die bestmögliche Prozessleistung zu gewährleisten. Der Positive Tone Entwickler, bekannt als LEYBOLD HERAEUS TCO-PT, bietet eine hohe Auflösung und saubere Musterergebnisse, bietet aber auch eine konsistente Gesamtätzleistung und robuste Prozessbreite. Es ist in Formulierungen mit hoher und niedriger Viskosität erhältlich, um spezifische Kundenanforderungen zu erfüllen. Darüber hinaus verhindert seine schnelle stabilisierende Wirkung den Aufbau von gelöstem Material und sorgt für eine optimale Leistung. Der Negative Tone Entwickler, bekannt als TCO-NT, entwickelt sich schneller als der Positive Tone Entwickler. Dadurch eignet es sich besser für Hochdurchsatzverfahren und ist auch in der Lage, hochauflösende Lithographie zu erzeugen. Darüber hinaus ermöglicht das Ti-SAA Additiv verbesserte Seitenwände und weniger Eckabrundungen. Es kann auch die Menge der Hinterschneidung auf der Waferoberfläche reduzieren, was zu einer saubereren Strukturierung und größeren Ausbeuten führt. Schließlich reduziert der Entwicklerstabilisator die Wahrscheinlichkeit einer Polymerunterbrechung durch Schleudergeschwindigkeiten und hilft, eine konstante Resistabstripprate aufrechtzuerhalten. Diese Eigenschaften, kombiniert mit den weiteren außergewöhnlichen Vorteilen der LEYBOLD HERAEUS TCO, wie ihrer hervorragenden Haltbarkeit und Handhabbarkeit, machen sie zur perfekten Wahl für moderne photoresistische Lithographieverfahren in der Halbleiterherstellung. Seine Fähigkeit, qualitativ hochwertige Leistungen schnell und zuverlässig zu produzieren, macht TCO zu einem der gefragtesten Systeme seiner Klasse.
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