Gebraucht LEYBOLD OPTICS GMBH CCS Pro #9329086 zu verkaufen

ID: 9329086
Weinlese: 2013
Coating system 2013 vintage.
LEYBOLD OPTICS GMBH CCS Pro ist eine Photolackanlage zur Verarbeitung hochauflösender Anwendungen. Es wurde für die Herstellung von Mikrogeräten wie mikroelektromechanischen Systemen (MEMS) und nanoelektromechanischen Systemen (NEMS) entwickelt. CCS Pro System bietet eine fortschrittliche lithographische Technologie, die die Herstellung von hochpräzisen dünnen Schichten mit hoher Auflösung ermöglicht. Das Gerät nutzt ultraviolette (UV, Holmium: Yttrium Aluminium Granat) Laserstrahlung, um ein hoch fokussiertes Bild auf dem Resist zu belichten, um Strukturen mit nur wenigen Nanometern Größe zu schaffen. LEYBOLD OPTICS GMBH CCS Pro Einheit ist mit einer selbstjustierenden Stufe und einem quarzroten Laser ausgestattet, um die Belichtung berührungslos durchzuführen, wodurch keine Destabilisierung der Resistfolie gewährleistet ist. CCS Pro Maschine verfügt über mehrere Steuerungsfunktionen, die einfach über eine benutzerfreundliche Schnittstelle eingestellt werden können. Dazu gehören Dosiskontrolle und Dosisgeschwindigkeitsmessung, In-Ebene-Bewegung der Bühne und Musterausrichtungsmöglichkeiten. Die Maschine ist ferner mit einem längenverstellbaren Feldanschlag ausgestattet, der eine Beschränkung der Belichtung auf eine vorgegebene Breite ermöglicht und dadurch die Auflösung der bearbeiteten Muster weiter erhöht. LEYBOLD OPTICS GMBH CCS Pro ist auch in der Lage, variable Wiederholung Belichtung und Autofokussierung des Lasers, um präzise und wiederholbare Ergebnisse zu gewährleisten. Das Gerät verfügt über eingebaute Sicherheitsmaßnahmen, um den Bediener vor möglichen Lasergefahren zu schützen. Es hat die Fähigkeit, die Gesamtstrahlung zu steuern und ist mit einem Antireflexionsabgaswerkzeug ausgestattet, das die gesamte während des Prozesses erzeugte Wärme abgibt, um die Temperatur des Resists zu halten und die Arbeitsumgebung des Geräts zu erhalten. Darüber hinaus ist die Anlage auch an ein Lasersteuerungsmodell zur Überwachung und Regelung der Laserintensität angeschlossen. Um ein sauberes und gleichmäßiges Ergebnis zu gewährleisten, verfügt CCS Pro über eine eingebaute Wafer-Reinigungsstation und eine Spin-Coating-Station, die eine einfache und effiziente Vorbereitung der Oberflächen des Geräts ermöglicht. Zusätzlich kann die Maschine für den Einsatz in Kombination mit Trockenätzsystemen weiter modifiziert werden. Insgesamt bietet die LEYBOLD OPTICS GMBH CCS Pro eine umfassende Lösung für die Herstellung hochauflösender Mikro- und Nanogeräte. Es bietet große Flexibilität, um unterschiedlichen Zielvorgaben gerecht zu werden, und verfügt über wirksame Sicherheitsmaßnahmen, um seine Benutzer zu schützen.
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