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LEYBOLD OPTICS MCS
ID: 293615755
Mini coating systems.
LEYBOLD OPTICS MCS (Microfabrication Control Equipment) ist ein umfassendes Photoresist-System zur Herstellung von hochpräzisen MEMS (mikroelektromechanischen Systemen) und anderen Mikrofabrikationsprozessen. MCS ist eine Einheit mit geschlossenem Regelkreis, die eine automatisierte Prozesssteuerung mit Echtzeit-Überwachung und -Rückmeldung ermöglicht, so dass Benutzer eine wiederholbare, optimierte Leistung gewährleisten können. LEYBOLD OPTICS MCS besteht aus drei Hauptkomponenten: einer Photolackeinheit, einem Spin Coater und einem IMB (Integrated Measurement Board). Die Photolackeinheit dient zur Beschichtung von Proben mit einem Photolack, zur Temperaturregelung, Reagenzkonzentrationen und Trocknungszeiten. Der Spin Coater ist für das Aufbringen einer gleichmäßigen Photolackbeschichtung auf die Probe verantwortlich. Schließlich dient die integrierte Messplatte zur Analyse und Steuerung der Höhe, Breite und Dicke der aufgebrachten Photolackschicht. Der Hauptvorteil der MCS-Maschine ist, dass sie Photolackprozesse automatisch mit nahezu perfekter Genauigkeit abschließt. Dies bietet Kostenvorteile und ermöglicht es Anwendern, Mikrofabrikationen mit hoher Genauigkeit mit geringem Aufwand zu produzieren. Darüber hinaus ermöglicht das LEYBOLD OPTICS MCS Tool auch die Ergänzung verschiedener Subsysteme, um die Leistung weiter zu verbessern. Zu diesen Subsystemen gehören weitere Anwendungen wie Laser-Mikroverarbeitung, Laserglühen und Laserablation. Insgesamt ermöglicht MCS einen kompletten automatisierten Mikrofabrikationsprozess, der die Produktionskosten erheblich reduziert und gleichzeitig eine nahezu perfekte Genauigkeit bei der Erstellung von Mikrofabrikationen ermöglicht. Das anpassbare Asset ermöglicht es Anwendern auch, die Systeme und Subsysteme auszuwählen, die für ihre spezifischen Prozesse am besten geeignet sind und eine optimale Performance gewährleisten.
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