Gebraucht LEYBOLD OPTICS MCS #9386355 zu verkaufen
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LEYBOLD OPTICS MCS ist eine umfassende Photoresist-Ausrüstung, die von LEYBOLD OPTICS für eine breite Palette von mikroelektronischen und nanoskaligen photolithographischen Herstellungsprozessen entwickelt wurde. Das System umfasst einen hochauflösenden Maskenausrichter mit einer Mindestauflösung von 0,5 µm und eine Maskierungseinheit aus proprietären Materialien, die entworfen sind, um Verzerrungen während der Maskenherstellung zu minimieren. MCS ist eine kostengünstige Lösung zur Herstellung komplexer hochdichter Photolackstrukturen. Die Maschine verwendet eine proprietäre Hochfrequenz-UV-Lichtquelle, die in der Lage ist, Strahlung der Wellenlänge λ = 350-450 nm zu erzeugen, und eine Reflexionsplatte mit einem hochpräzisen dünnen Glassubstrat, das eine nanoskalige Bildgebung ermöglicht. LEYBOLD OPTICS MCS-Tool ist mit einer erweiterten Software-Steuerung ausgestattet, die eine breite Palette von Anpassungen ermöglicht, wie die Belichtungsdosis, Form, Größe und Zeit der Bilder. Darüber hinaus bietet die MCS micro-MSC Lithographie als Schlüsselkomponente des Modells die volle Präzisionssteuerung des Lithographieprozesses. Mit einem Elektronenstrahl mit hoher Bildrate kann dieses Verfahren eine hohe Auflösung von 0,1 µm erreichen, ideal für die Herstellung feinster Strukturen mit hoher Genauigkeit. Darüber hinaus ist das System mit einer Nassverarbeitungseinheit mit hoher Affinität ausgestattet, mit der Lithographieprozesse ohne Probleme bei der Linien- und Kantendefinition abgeschlossen werden können. Darüber hinaus nutzt LEYBOLD OPTICS MCS fortschrittliche thermische Verarbeitungsfunktionen für eine verbesserte Fehler- und Kontaminationskontrolle. Die Maschine ist so konzipiert, dass sie gleichbleibend hochwertige thermische Verarbeitung bei geringem Stromverbrauch und damit relativ niedrigen Preis pro Stückkosten bietet. Darüber hinaus ist das MCS micro-MSC Lithographiewerkzeug mit einer hochmodernen Vakuumkammer ausgestattet, die eine hochpräzise kryogene Vakuumverarbeitung ermöglicht. Die Materialeigenschaften des Resists werden in der Niedervakuumumgebung dramatisch verändert, so dass es mit deutlich verbesserten und konsistenten Ergebnissen durchgeführt werden kann. Zusammenfassend ist LEYBOLD OPTICS MCS eine umfassende Photolithographie, die eine hohe Auflösung, niedrige Fehlerquote und außergewöhnliche Genauigkeit bietet. Durch die Verwendung fortschrittlicher Werkzeuge wie einer Hochfrequenz-UV-Lichtquelle, eines hochauflösenden Mikromaskenausrichters und eines präzisen thermischen Prozesses ist dieses Modell in der Lage, Komponenten extrem kleiner Größen mit großer Präzision selektiv herzustellen. Das Gerät wurde so konzipiert, dass nachfolgende Generationen integrierter Schaltungen noch genauer hergestellt werden können.
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