Gebraucht LEYBOLD OPTICS Syrus TC III #9394826 zu verkaufen

LEYBOLD OPTICS Syrus TC III ist eine hochmoderne Photoresist-Ausrüstung, die in der fortschrittlichen Produktion integrierter Schaltungen verwendet wird. Das System arbeitet durch optische Projektion einer Maske auf den Wafer, um eine dünne Schicht aus Photolack zu erzeugen. Diese Schicht dient dann zum Schutz der Waferoberfläche während der chemischen Bearbeitung wie Ätzen. Syrus TC III ist hochpräzise und ermöglicht Auflösungen bis auf 0,25 µm. Es verfügt über eine variable NA 0.5-0.7 variable Substrate, sowie einen 154 mm Bildkreis für die Projektion von größeren Masken. Das Gerät ist mit einem 633-nm-Laser zur schnellen Belichtung sowie einem dichromatischen Spiegel zur Beseitigung von Projektionsaberrationen ausgestattet. Die 270 nm vertikale Beleuchtung hat eine Beleuchtungsstärke von bis zu 3,8 mWatts/cm2. Die gesamte Maschine ist mit Flexibilität und Automatisierung im Kern ausgelegt. Zum Beispiel ist das Werkzeug kompatibel mit einer Vielzahl von Waferformen und -dicken, wie kreisförmig, rechteckig oder sogar quadratisch. Es verfügt auch über eine erweiterte Prozesskontrolle, die automatisierte Rezepte für maximale Wiederholbarkeit und Prozesskonsistenz über mehrere Ebenen ermöglicht. Es verfügt auch über eine mehrere Zonen überlappende Belichtung, die Maske Ladezeit und Kosten reduziert. LEYBOLD OPTICS Syrus TC III ist eines der fortschrittlichsten verfügbaren Photolacksysteme. Es bietet eine erhöhte Produktionsgeschwindigkeit und Präzision bei gleichzeitig verbesserter Abfallwirtschaft und Kosteneffizienz. Damit ist sie die ideale Wahl für die hochvolumige Verarbeitung fotosensitiver Materialien.