Gebraucht LEYBOLD Syrus 1510C #9395373 zu verkaufen
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ID: 9395373
Weinlese: 2007
AR Coating system
WAU 2001 H Rotary pump
SV630 Booster pump
POLYCOLD PFC-1102HC Chiller
Hydronium box: LEYBOLD TP 250
(2) EB-Guns with 8-pockets crucible
Ion source: APS Source with TP250 Controller
Crystal system: Q242 Board with 6-crystal head auto-change
POLYCOLD Cooling capacity: 860 W
POLYCOLD Cooling temperature: -130°C
Short circuit: 100 kA
Rated power: 110 kVA
Temperature: 35°C
HV Power supply: Output 10 kV
E-Beam gun: HPE12/10
Air relative humidity: Maximum 65%
Heating voltage: 400 VAC
Evaporator boat:
Tungsten
Tantalum
Niobium
Control system:
IPC Controller: BECKHOFF C5102-0010
HMI: BECKHOFF CP6902-0001-0000
Independent IDE display card
Non-functional UPS
Power supply: (3) 400 VAC±10%, 3-Phase, 50 Hz
2007 vintage.
LEYBOLD Syrus 1510C ist eine Photolackanlage für photolithographische Anwendungen. Das System umfasst eine Resistspur, eine Nachentwicklungseinheit und einen Entwickler. Es bietet eine wiederholbare und zuverlässige Plattform für die Photolackverarbeitung. Syrus 1510C hat ein einfaches und benutzerfreundliches Design, so dass es schnell eingerichtet und bedient werden kann. Das Gerät ist zweigleisig ausgebildet, wodurch zwei unterschiedliche Verarbeitungsaufträge gleichzeitig ausgeführt werden können. Darüber hinaus verfügt die Maschine über einen Mikroprozessor, der programmiert werden kann, um die Wiederholbarkeit von Rezepten zu unterstützen und die Rüstzeit zwischen den Benutzern zu minimieren. Die Hauptkomponenten von LEYBOLD Syrus 1510C sind die Resist Track und die Post-Development Unit. Die Resistschiene enthält perforierte Innen- und Außenwände, die eine konsistente laminare Strömung durch das Werkzeug erzeugen. Dadurch entsteht eine gleichmäßige Diffusion des Photolackmaterials während des Belichtungsprozesses. Die Nachentwicklungseinheit enthält eine Lichtquelle, mit der ein Fotolackfilm auf dem Wafer erzeugt wird. Syrus 1510C enthält auch einen Entwickler, der verwendet wird, um das belichtete Photolackmaterial zu entfernen. Dadurch können die Substrate mit den gewünschten Mustern bearbeitet werden. Der Entwickler soll bei der Entfernung der Photolackschicht wirksam und konsistent sein und dabei die definierte Substrattopographie erhalten. LEYBOLD Syrus 1510C ist eine sehr vielseitige und zuverlässige Photolithographie. Es verfügt über ein einfaches und benutzerfreundliches Design kombiniert mit einem Dual-Track-Design und automatisierten Steuerungen, so dass Benutzer Photolackschichten schnell und effizient verarbeiten können. Darüber hinaus bietet es eine ausgezeichnete Wiederholbarkeit, die die Rüstzeit zwischen den Aufträgen minimiert. Dieses Modell ist ideal für die Bereitstellung von qualitativ hochwertigen und gleichmäßigen photoresistfertigen Substraten, die für die Verarbeitung von Halbleiterbauelementen benötigt werden.
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