Gebraucht LUNG PIEN LP-1500 EBA #293642696 zu verkaufen
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ID: 293642696
Vacuum coater
Diameter size: 1500 mm
Fixture size: 1400 mm
Ultimate vacuum: 10^-7 Torr / 10^-5 Pa
Maximum substrate temperature: 350°C
Cooling water flow: 150 Liters/min
Air compressor: 3~5HP
Air pressure: 6-8 Kg/cm²
Grounding resistance: <5 Ohms
Exhaust system:
Rotary pump: 5,000 Liters/min
Strengthen pump: 1,500 M³/hour
Diffusion pump: 45,000 Liters/sec
Ultra low temperature freezers: -110°C ~ -140°C
Heating system:
Micro heater: 36 kW
Film thickness gauge:
Optical film thickness meter: LP Film thickness meter wide wave region
Quartz film thickness meter: Monolithic sensor head / six sensing head
Vacuum gauge:
Pirani+Cold cathode (1ATM~ 10^-9 Torr / 1ATM~ 10^-7 Pa)
Evaporation source:
JEOL / PLASMATECH Electron gun, 6 kW / 10 kW / 15 kW
Resistance heating: 6 kW
Cooling tower:
Pressure: 4 Kg/cm²
Pressure: 2 Kg/cm²
Power supply: 80 kW.
LUNG PIEN LP-1500 EBA Photoresist Equipment ist auf die Anforderungen fortschrittlicher Verpackungsprozesse in der Mikroelektronikindustrie ausgelegt. Das System ist eine vollständig programmierbare, automatisierte Fertigungslösung, die proprietäre Technologien verwendet, um Photolackschichten von höchster Qualität zu entwickeln, zu verarbeiten und herzustellen, die für die präzisesten Oberflächenbehandlungen erforderlich sind. Sein einzigartiges Design ermöglicht eine präzise Schichtdickenanpassung, eine verbesserte Haftung und eine exakte Aushärtungssteuerung. LP-1500 EBA ermöglicht präzise Messungen in nahezu jeder Umgebung und ermöglicht so präzise Oberflächenbehandlungen. Es ist vollständig mit einer automatisierten Einheit zur präzisen Steuerung der spezifischen Parameter jeder Schicht ausgestattet. Dazu gehören Schichtdicke, Haftung und Aushärtungssteuerung. LUNG PIEN LP-1500 EBA verfügt auch über fortschrittliche Applier-Technologie für die gleichmäßige Anwendung von Fotoresistschichten. Auf diese Weise können Benutzer Schichtdicke und -form schnell und präzise anpassen und so ein fehlerfreies, umgeformtes Produkt erzeugen. Es umfasst auch leistungsstarke digitale Bildgebungssysteme, die einen beispiellosen Einblick in die genauen Oberflächenbehandlungsparameter der Schicht bieten. LP-1500 EBA verfügt über eine robuste Vollspektrum-Überwachung und Diagnosefunktionen, um eine optimale Leistung auch in verschiedenen Produktionsumgebungen zu gewährleisten. Es kann alle Unterschiede in der Schichtdicke und Gleichmäßigkeit jeder Schicht in Echtzeit erkennen, so dass es einfach ist, Fehler auf der Flucht zu korrigieren. Die integrierte Optik kann auch bei turbulenter Strömung arbeiten und bietet volle Flexibilität und Agilität bei der Prozessentwicklung. LUNG PIEN LP-1500 EBA ist für die Arbeit mit mehreren Operationen konzipiert, so dass Benutzer während des Produktionsprozesses Änderungen vornehmen können, um kostspielige Abfälle zu vermeiden und die höchste Qualität der Fertigprodukte zu gewährleisten. LP-1500 EBA ist eine äußerst zuverlässige und benutzerfreundliche Maschine, die höchste Anforderungen an Präzision und Genauigkeit erfüllt. Die Kombination aus anspruchsvollen Technologien, hochpräzisen Komponenten und robustem Design machen es zu einer idealen Lösung für fortschrittliche Verpackungsprozesse.
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