Gebraucht LUNG PIEN LP-1800 EBA #293642698 zu verkaufen
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ID: 293642698
Vacuum coater
Diameter size: 1800 mm
Fixture size: 1600 mm
Ultimate vacuum: 10^-7 Torr / 10^-5 Pa
Maximum substrate temperature: 350°C
Cooling water flow: 180 Liters/min
Grounding resistance: <5 Ohms
Air compressor:
Pneumatic: 8 Kg/cm²
Exhaust system:
Rotary pump: 6,000 Liters /min
Strengthen pump: 2,600 M³/hour
(2) Diffusion pumps: 45,000 Liters/sec
Ultra low temperature freezers: -110°C~ -140°C
Heating system:
Micro heater: 42 kW
Film thickness gauge:
Optical film thickness meter: LP Film thickness meter wide
Quartz film thickness meter: Monolithic sensor head / six sensing head
Vacuum gauge:
Pirani+Cold cathode (1ATM~ 10^-9 Torr / 1ATM~ 10^-7 Pa)
Evaporation source:
JEOL / PLASMATECH Electron gun, 6 kW / 10 kW / 15 kW
Resistance heating: 6 kW
Cooling system:
Pressure: 4 Kg/cm²
Pressure: 2 Kg/cm²
Power supply: 110 kW.
LUNG PIEN LP-1800 EBA ist eine fortschrittliche Photolackausrüstung für hohe Qualität und Produktionseffizienz. Es ist eine in sich geschlossene Einheit, die aus einem evakuierbaren Photolackprozessor, einem Defektivitätsmonitor und Sensoren und einer Datenerfassungselektronik besteht. Der LP-1800 Prozessor bietet konsistente Verarbeitungsparameter bei gleichzeitig hoher Präzisionssteuerung. Das Defektivitätsüberwachungssystem ist mit einem großen HD-Farb-LCD-Display ausgestattet, das eine Echtzeitbeobachtung von Fehlern ermöglicht, um die Inline-Fehlererkennung und -analyse zu erleichtern. Das Gerät verwendet eine fortschrittliche Resist-Stripping-Technologie für vortrockene Prozesse, die es für eine Vielzahl von Photoresist-Materialien geeignet machen. Fortgeschrittene Funktionen wie eine Vorschubsteuerungsmaschine, hohe Prozessgeschwindigkeitseinstellungen und die Überwachung der Laserhöhe und der Foliendicke sorgen weiter für höchste Qualität und Präzision. LP-1800 EBA bietet auch umfassende Instrumentierung einschließlich Temperatur, Kraft, Druck, Vakuum und Partikelüberwachung und liefert genaue und zuverlässige Daten. Darüber hinaus verfügt LUNG PIEN LP-1800 EBA auch über eine integrierte Feedback-Steuerung für eine einheitliche Chargenverarbeitung und automatische Teststopp-Fähigkeit zur sofortigen Problemlösung. Das Tool bietet auch eine hohe Integration der Automatisierung, so dass Benutzer ihre eigenen Resist-Prozesse einfach programmieren können, sowie benutzerfreundliche Touchscreen-Steuerungen, um die Programmierung und Optimierung verschiedener Prozessschritte zu erleichtern. LP-1800 EBA eignet sich hervorragend zur Unterstützung fortschrittlicher Prozesstechnologien wie Photoresist-Laserablation und Lithographie. Seine Leistung und seine fortschrittlichen Eigenschaften machen es zu einer ausgezeichneten Wahl für Fertigungsanlagen, die einheitliche Prozesse sowie eine hohe Qualität und ertragreiche Produktion gewährleisten möchten.
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