Gebraucht MITSUI SEIKI SP-40D #9230484 zu verkaufen

ID: 9230484
Wafergröße: 4"
Spin coater, 4".
MITSUI SEIKI SP-40D ist eine Photolackausrüstung zur Strukturierung von Halbleiterbauelementen mit hoher Auflösung. Dieses System ist mit einer fortschrittlichen mikroprozessorgesteuerten optischen Einheit, einer hochauflösenden Optik und fortschrittlicher Software zur Steuerung des Prozesses der Photolackbelichtung ausgestattet. Es ist eine ideale Maschine zum Strukturieren von Halbleitersubstraten wie Siliziumscheiben und anderen Materialien. Die Maschine besteht aus einem fortschrittlichen optischen Werkzeug, einer Beleuchtungsquelle und einem hochpräzisen Abtastmechanismus, um eine genaue Maske für die Waferregistrierung bereitzustellen. Die Beleuchtungsquelle kann eine Elektronenkanone oder eine Hochleistungs-LED-Quelle sein. Die LED-Quelle ist in der Lage, eine höhere Auflösung bei einem größeren Bereich von Belichtungsbedingungen als eine Elektronenkanone bereitzustellen. Das optische Asset besteht aus einer Reihe von Zielen und einer motorisierten Stufe, die präzise Belichtungsausrichtungen ermöglicht. Das Modell ist zudem mit einer intuitiven Benutzeroberfläche ausgestattet, die eine einfache Parametereinstellung und Prozesssteuerung ermöglicht. Es bietet Prozessüberwachung, Datenerfassung, Prozesssimulation und Datenanalyse zur Prozessoptimierung. Das Gerät unterstützt auch verschiedene Arten von Software zur Steuerung der Photolackbelichtungsalgorithmen. SP-40D verfügt über ein integriertes Autofokus-System, das automatische Fokuseinstellungen ermöglicht und den Prozess der Photolackbelichtung noch einfacher macht. Darüber hinaus bietet dieses Gerät eine breite Palette von Verfahren wie Spin-Coating, Ätzen, Kontaktdruck, Waferschneiden und Musterprüfung. Es bietet auch Optionen für unterschiedliche Prozessparameter wie Beleuchtungsintensität, Belichtungszeit, Scangeschwindigkeit und Nachbelichtungszeit. Insgesamt ist MITSUI SEIKI SP-40D eine leistungsfähige und zuverlässige Photolackmaschine, die genaue und hochauflösende Photomasken für Halbleiterbauelementprozesse bereitstellt. Es ist benutzerfreundlich gestaltet und bietet ein breites Spektrum an Funktionen und Funktionen, die einfach nach den Bedürfnissen jeder einzelnen Anwendung konfiguriert werden können. Es kann für eine Vielzahl von Musteranwendungen in der Halbleiterindustrie verwendet werden.
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