Gebraucht MUSCAT SPL-455 #9198107 zu verkaufen
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MUSCAT SPL-455 ist eine Photoresist-Ausrüstung für den Einsatz in Halbleiterherstellungsprozessen. Es wurde von Mitsubishi Chemicals entwickelt und wurde entwickelt, um hohe Reinheit, Gleichmäßigkeit und Zuverlässigkeit in einer Vielzahl von Photolithographie-Anwendungen zu bieten. Im Gegensatz zu herkömmlichen Photoresist-Systemen ist SPL-455 so konzipiert, dass es hohen Temperaturen standhält und somit ideal für die Pellicle-Verarbeitung und andere Wafer-Level-Prozesse geeignet ist, die eine hohe Temperaturstabilität erfordern. Das System besteht aus einem elektrochemischen Ätzbad und einem hochreinen photoaktiven Mittel, das bei UV-Belichtung eine elektrochemische Reaktion auf dem Substrat erzeugt, die zum Ätzen der Photoresistschicht führt. Das photoaktive Mittel in MUSCAT SPL-455 besteht aus einer Mischung mehrerer hochreiner Verbindungen, einschließlich eines Stabilisierungsmittels wie einem Salz, einer Säure, einem Oxidationsmittel und einem Photoresistlösungsmittel. Wenn das Ätzbad dem UV-Licht ausgesetzt wird, werden die Verbindungen im photoaktiven Mittel aufgeladen, wodurch die elektrochemische Reaktion ausgelöst wird. Dies führt zum Ätzen der Photolackschicht, was eine wesentlich höhere Auflösung und Wiederholbarkeit als bei herkömmlichen Photolacksystemen ermöglicht. Das elektrochemische Ätzbad selbst ist so konzipiert, dass Temperatur und chemische Werte konstant und präzise gehalten werden und Reproduzierbarkeit und Qualität ohne häufige Wartung oder Kalibrierung ermöglicht werden. Das Gerät bietet auch eine Vielzahl von Prozesssteuerungsmechanismen, darunter mehrere anpassbare Parameter, wie die Ätzgeschwindigkeit und die Ätzrate, sowie fortschrittliche Werkzeuge und Software zur Verbesserung der Automatisierung. SPL-455 ist eine zuverlässige, hochwertige Photolackmaschine, die ein breites Spektrum an Merkmalen bietet und sehr vielseitig einsetzbar ist und somit ideal für Halbleiterherstellungsprozesse geeignet ist. Mit seinen fortschrittlichen Materialien, Technologien und Prozessen bietet das Tool Anwendern unübertroffene Zuverlässigkeit und Leistung.
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