Gebraucht NEXX SYSTEMS Stratus 300 #9289374 zu verkaufen

NEXX SYSTEMS Stratus 300 ist eine Photolackanlage, die in Halbleiterherstellungsprozessen eingesetzt wird. Es wurde speziell entwickelt, um qualitativ hochwertige Muster auf Wafern mit einer hochauflösenden Musterfähigkeit bis zu 1µm/Linienbreiten zu ätzen. Stratus 300 bietet modernste Photoresist-Technologie mit einer fortschrittlichen Mehrstrahl-UV-Quelle, die bis zu 3J/cm2 Belichtungsenergie mit einer Wellenlänge von 365 nm erzeugen kann. Es enthält auch ein optimiertes Wellenlängenoptimierungssystem mit hohem Kontrastverhältnis und geringer Reflexion für verbesserte Ätzgenauigkeit. NEXX SYSTEMS Stratus 300 verfügt über eine vollautomatische Ausrichteinheit mit integrierter Messtechnik zur Messung kritischer Merkmale und kann Wafer bis 8 Zoll Durchmesser handhaben. Das Werkzeug verwendet einen dynamischen Austauschmechanismus für Waferaustausch und schnelles Be- und Entladen. Zusätzlich zu seinen hochauflösenden Ätzfunktionen bietet Stratus 300 Datenverarbeitungs- und Steuerungssysteme mit fortschrittlicher Computersoftware zur Verfolgung, Steuerung und Berichterstattung aller relevanten Photoresist-Ätzrezepte. Dies ermöglicht schnellere, genauere Ätzvorgänge mit der Fähigkeit, Ergebnisse für die Qualitätskontrolle und detaillierte Fehlerverfolgung zu überwachen und aufzuzeichnen. NEXX SYSTEMS Stratus 300 enthält außerdem eine einzigartige Autofokus-Funktion mit einer maximalen Retikelgröße von 75 mm, die es ermöglicht, mit hoher Genauigkeit bis zum Nanometerstand zu ätzen. Darüber hinaus stellt ein Auto-Leveling-Asset sicher, dass die Ätzung im gesamten Wafer einheitlich ist, indem Prozessparameter wie Maskenkippe, Fokus, Widerstandsdicke und Belichtung gesteuert werden. Insgesamt ist Stratus 300 ein fortschrittliches und zuverlässiges Fotolackmodell mit einer Fülle von Funktionen und Fähigkeiten. Mit seiner hochauflösenden Ätzgenauigkeit und der Fähigkeit, den Ätzprozess genau zu steuern, ist NEXX SYSTEMS Stratus 300 eine ideale Lösung für die Halbleiterherstellung.