Gebraucht NOVELLUS / LAM Saber XT #9224442 zu verkaufen
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ID: 9224442
Wafergröße: 8"
Cu Plating system, 8"
System controller
Module controller
Cassette handler controller
Main system:
Wafer cassette: 25 wafer
Mini-environment: SYNETICS
Chase computer / monitor: Desktop PC/CRT
Exhaust kit: TOP Mount
Drain kit: Backside
Cassette handler module:
Load port: Static nests, (4) stations
Wafer aligner type: Mechanical center finder
Robot type: AQR7 BROOKS
End effector: SST x/ Vacuum port
Mapping type: Thru-beam
Wafer release: With puff
Plating cell configuration:
Cell 1, cell 2 and cell 3:
Clamshell type: Standard
Clamshell cup type: PPS
Clamshell cylinder: Pressure-vacuum cylinder
ANODE Type: Standard
(2) TI Cables
SAC
Clamshell lift: IAI
ACR
Active top hat
Plating power supply: AE Pulse power supply
Post plating cell configuration:
Cell 1, cell 2 and cell 3:
Chuck type: PPS
Wafer present sensor mount: Standard
EBR
Bath module:
Totalizer #1 & #2 manufacture: FLORITE
Dosing pump 1,2 &3: MS1602-024
Recirculation pump: IWAKI WALCHEM CMD-101
CDM Level sensor type: KEYENCE
Heat exchanger: NESLAB HX-75
Auxiliary equipment:
Chemical monitoring system (CMS): ECI QLC-7000
Chemical delivery system (CDS): OEM
Mini delivery system (MDS): OEM
DI Water delivery system: OEM
Input voltage: 208 VAC, 50/60 Hz, 100 A.
NOVELLUS/LAM Saber XT ist eine Photoresist-Ausrüstung für den Einsatz in einer Vielzahl anspruchsvoller industrieller Anwendungen. Das System verwendet ein patentiertes, einmaliges und einstufiges Verfahren, um eine benutzerfreundliche und kostengünstige Präzisionsbildgebung zu ermöglichen. Die fortschrittliche Photoresist-Technologie des Geräts ist einzigartig und bietet sowohl hohen Durchsatz als auch unübertroffene Präzision bei der Bildgebung. Es ist extrem anpassungsfähig und kann schnell für verschiedene Aufträge eingerichtet werden, während es immer noch auf optimalem Leistungsniveau arbeitet. Die Technologie sorgt auch für höchste Auflösung, Genauigkeit und Wiederholbarkeit in der Fotoresist-Bildgebung. LAM Saber XT ist mit einer spezialisierten Hochleistungsoptischen Bildgebungsmaschine ausgestattet, die einen fortschrittlichen laserbasierten Ansatz verwendet. Der signaturlaserbasierte Ansatz ermöglicht dem Werkzeug eine unglaublich hohe Präzision. Dieses Asset wurde auch entwickelt, um produktivitätssteigernde Funktionen wie ein intuitives und programmierbares Datenprotokollierungsmodell sowie eine Echtzeit-Leistungsüberwachung für die Überwachungskontrolle zu ermöglichen. Die Hardware der Geräte wird durch eine intuitive Software-Suite unterstützt, die Anwendern größtmögliche Flexibilität und Benutzerfreundlichkeit bietet. Geladen mit programmierbaren Funktionen, kann die Software einfach auf die Bedürfnisse einer bestimmten Aufgabe zugeschnitten werden. Es ist die perfekte Wahl für Anwender, die ein einfaches und zuverlässiges Fotoresist-Bildgebungssystem benötigen. Schließlich ist NOVELLUS Saber XT mit enormer Haltbarkeit und flexibler Fähigkeit konzipiert. Seine Hochleistungskomponenten sind in einer geschlossenen Einheit untergebracht, um die Langlebigkeit zu maximieren und mögliche Wartungsarbeiten zu minimieren. Darüber hinaus kann Saber XT sicher in einer Vielzahl von Umgebungsbedingungen betrieben werden, einschließlich extremer Temperaturen und Strahlung, was es ideal für eine Breite von industriellen Anwendungen macht. Abschließend ist NOVELLUS/LAM Saber XT eine branchenführende Fotoresistmaschine, die einzigartig entwickelt wurde, um präzise Bildgebung für eine Vielzahl anspruchsvoller industrieller Aufgaben zu liefern. Das fortschrittliche laserbasierte Bildgebungswerkzeug, die intuitive Software und die langlebige Konstruktion machen es zur perfekten Wahl für alle, die zuverlässige und zuverlässige Leistung suchen.
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