Gebraucht OKK SRD #9144785 zu verkaufen

OKK SRD
Hersteller
OKK
Modell
SRD
ID: 9144785
Wafergröße: 6"
Spin dryer, 6".
OKK SRD ist ein moduliertes positives Photoresist-Gerät, das zur Abbildung und Entwicklung von Mustern auf einer Substratoberfläche verwendet wird. Photoresist-Systeme werden verwendet, um Muster auf Substraten für eine Vielzahl von Anwendungen zu erstellen, wie gedruckte Schaltungen für Elektronik und Photolithographie. Das SRD-System besteht aus drei Teilen: dem Photolack, der Lichtquelle und der Entwicklungslösung. Der Photolack ist ein lichtempfindliches Material, das auf eine Substratoberfläche aufgebracht ist. Wenn dieses Material Licht von der Lichtquelle ausgesetzt wird, werden bestimmte Bereiche des Photolacks einer chemischen Reaktion unterzogen, die das Material in einer flüssigen Entwicklerlösung entweder löslich oder unlöslich lässt. Dies ist als Photolithographie bekannt. Die Lichtquelle der OKK SRD-Einheit ist ein moduliertes Licht, das aus Licht besteht, das periodisch zunimmt und in der Intensität abnimmt. Durch Variation der Intensität des Lichtes werden bestimmte Bereiche des Photolacks beeinflusst, die dann mit der Entwicklerlösung leicht entfernt werden können. Der Vorteil dieser Maschine ist, dass sie weniger zeitaufwendig und kostspielig ist als die Verwendung einer einstufigen Lichtquelle. Die Entwicklungslösung im SRD-Tool enthält ein anionisches oder kationisches Entwicklungsmittel. Je nach Art des verwendeten Entwicklungsmittels werden die dem Licht ausgesetzten Bereiche des Photolacks mehr oder weniger löslich. Dies ermöglicht es dem Anwender, unerwünschtes Photolackmaterial leicht von der Substratoberfläche zu entfernen. Abschließend ist OKK SRD asset ein innovatives Photoresist-Modell. Es ermöglicht Anwendern, schnell und kostengünstig Muster auf Substraten mit einer modulierten Lichtquelle und einer anionischen oder kationischen Entwicklerlösung herzustellen. Infolgedessen ist dieses Gerät weit verbreitet für die Herstellung von mikroelektronischen Geräten und Photolithographieverfahren.
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