Gebraucht OPTORUN OTFC-1300CGI #9408415 zu verkaufen

OPTORUN OTFC-1300CGI ist ein Photoresist-Gerät, das entwickelt wurde, um hochauflösende, zuverlässige Photoresist-Beschichtungsprozesse auf kostengünstige Weise bereitzustellen. Es bietet eine Vielzahl von Beschichtungsmodi, so dass Benutzer Substrate schnell und einfach mit hoher Gleichmäßigkeit und Genauigkeit beschichten können. Das System unterstützt auch eine breite Palette von Photolackmaterialien, so dass Benutzer den passenden Fotolack für ihre Anwendung finden können. Die Einheit besteht aus einem Laser-Scankopf und einer Anordnung von Linsen und Spiegeln, die beide von einer einstellbaren Galvo-Scanmaschine verwaltet werden. Dies reduziert Kosten, Platz und Stromverbrauch erheblich und bietet gleichzeitig dieselbe Präzision und Genauigkeit. Das Werkzeug ermöglicht auch eine großflächige, gleichmäßige, kontinuierliche Beschichtung und ist in der Lage, mit Geschwindigkeiten bis zu 5 m/s zu laufen. Die Anlage nutzt einen dreistufigen Resist-Beschichtungsprozess, mit einer direkten Resist-Strukturierung auf der Oberfläche des Wafers. Durch die Verwendung eines dreistufigen Resist-Prozesses sorgt es für Einheitlichkeit, Genauigkeit und Wiederholbarkeit bei komplexen Musterungen. Das Modell besteht aus einem Galvanometer, einem Laser, einem Beleuchter und einer bildgebenden Ausrüstung. Das Galvanometer bewegt Beleuchter und Laser in einem bestimmten Muster über die Oberfläche des Wafers, um die gewünschten Muster zu erzeugen. Der wassergekühlte Laser ist ein hochleistungsfähiger diodengepumpter Festkörperlaser. Es enthält eine automatisierte Leistungssteuerung, die die Laserleistung und die Pulsdauer automatisch anpasst, um eine optimale Strukturierung zu erreichen. Das Gerät ist mit einem hochwertigen Mikrolinsenarray ausgestattet, das die Verzerrung sowohl in als auch aus der Substratebene reduziert. Dieses Mikrolinsen-Array hilft auch, die Gleichmäßigkeit über eine große Fläche zu erreichen. Schließlich ist OTFC-1300CGI mit hoher Präzision Mechanik und Präzisionsoptik entwickelt, um überlegene Folie Gleichmäßigkeit und Genauigkeit zu bieten. Basierend auf dem Beschichtungsverfahren steht ein optionaler Bewegungsregler zur weiteren Verbesserung seiner Genauigkeit zur Verfügung. Die Maschine ist in der Lage, hohe Genauigkeit und Wiederholbarkeit in Folienuniformitäten zu erreichen und kann komplexe und große Masken mustern.