Gebraucht OPTORUN OTFC-1300DBI #9398672 zu verkaufen
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ID: 9398672
Weinlese: 2008
Optical thin film coater
SUS304 Vacuum chamber: D 1300 mm x H 1610 mm
Substrate dome size: D1130 mm
Pump:
Mechanical pump: 4000L /min
Mechanical booster pump
(2) Diffusion pumps, 22"
Optical film thickness control system:
OPTORUN HOM2-R-VIS350A
Wavelength range: 350 nm - 1100 nm
Shutters:
(2) EB Sources
ION Source
Cold trap: POLYCOLD PFC670HC Meissner trap coil
INFICON VGC023 Vacuum gage
EB Source:
Left: Loop hearth
Right: 24 Points hearth
JEOL 270 Degrees deflection system
(2) JEBG EBG-203LFO
JST-10F Power supply
Substrate fixture: 10-50 RPM Variable speed dome
INFICON XTC-2 Crystal film thickness monitor
6-Points rotary crystal sensor
INFICON VCC500 Process gasses controller
INFICON VDM005-X Controlled valve
PLC Control
PC Included
2008 vintage.
Die OPTO-RUN OPTORUN OTFC-1300DBI Photoresist-Ausrüstung ist ein vielseitiges Photochemiesystem für Anwendungen wie Ätzen, Sputtern und Schichtabscheidung. Es ermöglicht eine präzise, gleichzeitige Belichtung von bis zu vier Masken ohne Einbußen beim Durchsatz. Mit einer flexiblen Lichtmaschine und zahlreichen Prozessoptionen bietet diese Photolackeinheit eine genaue Photolackbelichtung mit Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit. Die OPTO-RUN OTFC-1300DBI Photolackmaschine besteht aus einer Belichtungskammer, einem Lichtmotor und einem Regler. Die Belichtungskammer verwendet ein Multicavity-Werkzeug, das bis zu vier Masken gleichzeitig aufnehmen kann. Die Lichtmaschine ist aus einem Ring von Leuchtstofflampen aufgebaut, die um die Masken angeordnet sind und bei Bedarf UV-Licht hoher Intensität liefern. Diese konstruierte Lichtquelle ist einstellbar, so dass Dosis, Belichtungszeit und Belichtungsleistung für jede Maske unabhängig eingestellt werden können. Neben der Belichtungskammer und dem Lichtmotor verfügt der OPTO-RUN OPTORUN OTFC-1300DBI Photoresist auch über eine präzise digitale Anzeigesteuerung. Dadurch kann der Anwender die Belichtungseinstellungen des Modells anpassen und die Belichtungsparameter präzise steuern. Darüber hinaus verfügt die Steuerung über eine leistungsstarke optoelektronische Schnittstelle, die es dem Benutzer ermöglicht, das gesamte Gerät von einem externen Computer aus zu steuern. Das OPTO-RUN OTFC-1300DBI Photoresist-System eignet sich ideal für viele verschiedene Arten der Mikroelektronik-Produktion, darunter integrierte Schaltungen (ICs), Flachbildschirme und Leiterplatten. Dank seiner präzisen Belichtungsfähigkeit eignet es sich besonders für fortgeschrittene Halbleiteranwendungen wie die Herstellung heterogener Flip-Chip-Pakete und MEMS-Bauelemente. Die Flexibilität des Geräts und die benutzerfreundliche Oberfläche machen es zu einer attraktiven Wahl für die Qualitätskontrolle und den allgemeinen Reinraumbetrieb. Insgesamt bietet die OPTO-RUN OPTORUN OTFC-1300DBI Photolackmaschine eine hocheffiziente Lösung für präzise Photolackbelichtung in der Mikroelektronik-Produktion. Es ist eine vielseitige Lösung, die einfach an jede Produktionsumgebung angepasst werden kann, und seine präzise digitale Steuerung macht es zu einem unschätzbaren Werkzeug für Qualitätskontrolle und Spezialanwendungen.
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