Gebraucht OPTORUN OTFC-1550 #9390009 zu verkaufen

OPTORUN OTFC-1550 ist eine vollautomatische Fotolackverarbeitungsanlage, bestehend aus Substratbeschichtung und Entwicklungskammer, Viskositätspumpe und Photolackspender. OPTORUN OTFC 1550 bietet eine zuverlässige und wiederholbare Art der Verarbeitung von photomaskentragenden Substraten im Bereich von 200 mm x 200 mm bis 500 mm x 500 mm. Dieses System besteht aus einem Satz von Kammern, mit einer eigenen Kammer für jeden Verfahrensschritt, einschließlich Substratbeschichtung und Entwicklung, Vorbacken, Abgeben, Nachbacken und schließlich eine Fotoresistentfernungskammer. OTFC-1550 beginnt mit einer automatisierten Substratbeschichtungskammer, in der der Photolack in einer gleichmäßigen Filmdicke auf das Substrat aufgebracht wird. Diese Kammer hat auch die Fähigkeit, Vorbackprozesse durchzuführen, die eine gleichmäßige Basisfolienhaftung gewährleisten. Mit der Spendefunktion wird sichergestellt, dass das Photomaskenmuster in der gewünschten Dicke genau auf das Substrat abgegeben wird. Dies geschieht über einen fortgeschrittenen Photolackspender, der in das Gerät integriert ist. In der integrierten Entwicklungskammer werden Nachbackprozesse wie Exposition und Entwicklung durchgeführt. Diese Kammer sorgt für ein gleichmäßiges, insgesamt Resistfilmprofil. Schließlich wird die Photo Resist Removal (PRR) -Kammer verwendet, um unerwünschte Photoresist vom Substrat zu entfernen. Möglich wird dies durch fortschrittliche, vakuumunterstützte Technologie, die auf einheitliche PRR-Ergebnisse ausgelegt ist. Insgesamt bietet die OTFC 1550 Photolackmaschine eine zuverlässige und wiederholbare Substratverarbeitungslösung. Es ist in der Lage, photomaskentragende Substrate im Bereich von 200 mm x 200 mm bis 500 mm x 500 mm zu verarbeiten. Darüber hinaus ermöglichen die integrierten Vorback-, Dosier-, Nachback- und PRR-Prozesse präzise und einheitliche Photoresist-Filmverarbeitungsergebnisse.