Gebraucht OPTORUN OTFC-1800DBI #9237129 zu verkaufen
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ID: 9237129
Vacuum coating system
With IAD
Chamber size: 1,800 W x 1,910 H
Vacuum pump:
OPTORUN: (2) 28" DP
POLYCOLD PFC-1102 HC Chiller
RP: EDWARDS E2M275
MBP: EDWARDS EH4200
Evaporation:
EB: (2) JEOL JEBG-102UH0
Hearth (Left): φ336xφ264xH15
Hearth (Right): φ40xH17, 30 Points
Shatter: About φ300x2
JEOL BS-72050ICE Power supply
Ion source assist:
RF Ion source: OPTORUN OIS-Three 23 cm Type
RF Neutralizer
Power supply
Shatter: About φ450 size
Controller:
OPTORUN HOM2-R-VIS350A Optical monitor
Wavelength: 350 nm~1100 nm (Reflectance)
Monitor glass: φ142 Size
Monitor points: 80 Points
Crystal monitor: INFICON XTC/3
6-Points rotary censer
OPTORUN Auto-deposition control system
2015-2017 vintage.
OPTORUN OTFC-1800DBI ist eine hochmoderne Photolackausrüstung, die für eine hochgenaue und zuverlässige lithografische Produktion entwickelt wurde. Das System ist mit den neuesten Funktionen und Technologien ausgestattet, um eine überlegene Leistung für den Endbenutzer zu gewährleisten. Es verwendet einen einzigartigen, automatisierten und optimierten lithografischen Prozess, um eine hochpräzise und kostengünstige Photolackleistung zu gewährleisten. Das Gerät besteht aus einer hochpräzisen Dosiereinheit und einer spezialisierten Photoresist-Schichtkammer, die zusammen eine äußerst genaue Abscheidung und chemisches Ätzen ermöglichen. Die Ausgabeeinheit ist in der Lage, Photolackmaterial mit einer präzisen ± 20 µm Toleranz auszugeben, was für gleichbleibende, hochwertige lichtempfindliche Merkmale erforderlich ist. Die Photoresist-Schichtkammer bietet auch gleichmäßige und genaue Schichtdicken über das gesamte Substrat, um eine konsistente Strukturierung zu gewährleisten. OTFC-1800DBI verfügt über eine Reihe integrierter technologischer Merkmale, einschließlich einer fortschrittlichen optischen Maschine, die darauf ausgelegt ist, sicherzustellen, dass die Lichtleistung während des lithographischen Prozesses genau überwacht wird. Das Tool enthält auch ein spezielles, computergestütztes Profil-Matching-Asset, mit dem Benutzer die Photolackschichten schnell einrichten, anpassen und überwachen können. Das automatisierte Liefermodell ist auch mit erweiterten Anpassungsfunktionen ausgestattet, so dass Benutzer die Ausrüstung einfach an unterschiedliche Anforderungen an Substrat und Schichtdicke anpassen können. Schließlich ist OPTORUN OTFC-1800DBI mit einem fortschrittlichen Ausgangskontrollsystem ausgestattet, mit dem Benutzer die Ausgangspegel bestimmter Teile des lithographischen Prozesses schnell anpassen und die Gesamtleistung überwachen können. Das Gerät enthält auch eine Multi-Array-Heizungsmaschine und ein programmiertes Temperaturregelungswerkzeug, das dem Endbenutzer eine präzise Kontrolle über Photoresist-Funktionen gibt. Insgesamt bietet OTFC-1800DBI Anwendern ein hochpräzises, automatisiertes und zuverlässiges Photoresist-Asset, das die neuesten technologischen Fortschritte voll ausnutzt. Mit seinem breiten Spektrum an Funktionen und Fähigkeiten bietet das Modell Anwendern hervorragende Leistung für die lithografische Produktion.
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