Gebraucht PARKER MSX-102C #9247058 zu verkaufen

PARKER MSX-102C
ID: 9247058
Weinlese: 2008
Dryer Type: Adsorption dryer 2008 vintage.
PARKER MSX-102C ist eine Photoresist-Ausrüstung der dritten Generation, die hochauflösende Bildgebung mit einem hochpräzisen, wiederholbaren Prozess kombiniert. Das System nutzt eine computergesteuerte, gasgesteuerte, automatische Belichtungseinheit mit drei primären Komponenten - die optischen Einheiten, die thermische Steuereinheit und die computergesteuerte Steuerung. Die optischen Einheiten bestehen aus einer Excimer-Laserlichtquelle, einer Strahlformungsoptik und einer Dual-Imaging-Maschine, die einen breitbandigen spektralen Abbildungsprozess und einen binären Abbildungsprozess umfasst. Die optischen Einheiten unterstützen sowohl optische als auch thermische Steuerungsmerkmale, die eine genaue und wiederholbare Abbildung hochauflösender Muster ermöglichen. Die Lichtquelle bietet einen weiten Wellenlängenbereich, um Photolackprozesse für die Belichtung unterschiedlicher Filmdicken anzupassen. Der Lichtbelichtungsprozess wird durch die automatische Zentrierung weiter verbessert, die eine gleichmäßige Bestrahlung über ein ganzes Muster hinweg unterstützt und eine konsistente Abbildung hochauflösender Muster in einer einzigen Belichtung ermöglicht. Das thermische Steuergerät ist in die optischen Einheiten integriert und sorgt für eine Aufrechterhaltung der Temperaturregelung während der Strukturierung. Die thermische Steuereinheit hält eine genaue Temperatur innerhalb der Einheit, um Resistfolien zu schützen, was die Prozessstabilität erhöht und eine genaue Strukturierung erzeugt. Die Steuerung enthält auch eine lokalisierte Stickstoff-Kaltgaskammer, um die Temperaturstabilität während des Resiststrukturierungsprozesses zu gewährleisten. Die computergesteuerte Steuerung des Werkzeugs wird verwendet, um jeden Schritt des Bildgebungsprozesses zu verwalten und zu steuern. Der Computer bietet eine Reihe benutzerfreundlicher Optionen zur Programmierung und Steuerung des gesamten Photolackprozesses einschließlich Dateneingabe, Belichtungszyklen, numerischer Überwachung und Ausrichtungssteuerung. Es bietet auch Echtzeit-Feedback in Bezug auf Mustergenauigkeit und Prozessrobustheit und bietet eine vollständige und automatisierte Ressource für die Entwicklung und Kontrolle von fortschrittlichen Photoresist-Musterprozessen. MSX-102C Photoresist-Modell ist eine ideale Lösung für Hersteller, die ihre Ausbeute erhöhen, den Durchsatz maximieren und ihre Prozesszuverlässigkeit verbessern möchten. Die hochauflösenden bildgebenden Funktionen der Ausrüstung machen es ideal für fortgeschrittene Mikrofertigungsprozesse, und es verfügt über eine breite Palette von programmierbaren Funktionen, um eine vollständige Prozesskontrolle zu gewährleisten. All dies macht PARKER MSX-102C Photoresist-System zu einem wertvollen Werkzeug für Hersteller, die die Genauigkeit und Wiederholbarkeit ihrer Prozesse maximieren möchten.
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