Gebraucht SCL CD 200A #9352010 zu verkaufen
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ID: 9352010
Weinlese: 2002
Hard coater
(3) Cleaning tanks
(2) Varnish tanks
(2) Ovens
Color touch screen
Oven heaters with displays
Etching motor
Filters housing
DI water system with pump
Pipes varnish
Pubber
Air system
LAUDA Chiller
2002 vintage.
SCL CD 200A ist eine universelle Photolackausrüstung für Photolithographieverfahren in der Halbleiterindustrie. Es besteht aus einem flüssigen Photolack, einer negativen Maske, einer Lichtquelle und einer Prozesskammer. Der Photolack ist ein lichtempfindliches Material, das auf einen Wafer aufgebracht und einer Lichtquelle mit negativer Maske ausgesetzt wird. Die Maske besteht aus einem Muster von klaren und undurchsichtigen Bereichen, die eine kontrollierte Lichtmenge bis zum Photolack ermöglichen. Wenn der Photolack dem Licht ausgesetzt ist, erfährt er eine chemische Veränderung, bei der er je nach Wellenlänge des Lichts entweder vernetzt oder abgebaut wird. Dies ermöglicht eine hochpräzise Strukturierung von Merkmalen auf dem Wafer. SCL CD 200 Ein System verfügt über eine erweiterte Prozesskammer zur Steuerung des Photolithographie-Prozesses. Es kann verschiedene Parameter wie Temperatur, Druck, Feuchtigkeit und Atmosphäre steuern. Dies ermöglicht einen hoch kontrollierten Photolithographievorgang, der genaue und wiederholbare Ergebnisse liefert. Darüber hinaus kann das Gerät sowohl für die Trocken- als auch für die Nassverarbeitung verwendet werden. Die Maschine nutzt eine Flüssigkeitstauchtechnik in der Nassverarbeitung, die eine höhere Auflösung und eine verbesserte Prozesssteuerung ermöglicht. Das Werkzeug ist in der Lage, mehrere Substrate zu handhaben, einschließlich Photomasken, Topoglas, Quarz und Glas-auf-Quarz. Es wurde entwickelt, um kontinuierliche ein- und zweigleisige Produktionsabläufe durchzuführen. Es verwendet eine proprietäre einheitliche Lichtquelle, um eine konsistente Belichtung über den Wafer zu gewährleisten. Das Asset kann sowohl für positive als auch negative Photoresists verwendet werden und kann eine breite Palette von Wellenlängen von tiefem UV bis Infrarot bewältigen. CD 200A Modell bietet ein hohes Maß an Prozess- und Performance-Konsistenz. Es bietet eine verbesserte Auflösung und verbesserte Prozesskontrolle. Es ist eine vollautomatische Ausrüstung und kann für Serienprozesse eingesetzt werden. Es ist einfach zu bedienen und zu warten und ist ideal für hochgenaue, kostengünstige Photolithographie-Prozesse.
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