Gebraucht SCL CD 500 #293661305 zu verkaufen

SCL CD 500 ist eine integrierte Photolackausrüstung, die für kritische Produktionsanwendungen wie Resistbeschichtung und Strukturierung von Flachbildschirmen (FPD) und Halbleiterbauelementen entwickelt wurde. Es kombiniert fortschrittliche Spin-Beschichtung und Weichbacktechnologie mit präziser Wafer-Nivellierung und kritischer Reinigung, um hochgleichmäßige Resistbeschichtungen bereitzustellen. CD 500 ist mit einer 300mm x 300mm Kammer ausgestattet, die 350mm Prozesse und Wafergrößen bis 8 Zoll unterstützt. Sie nutzt einen hochpräzisen Spinnkopf zum Beschichten und Backen bis 4.500 U/min und nimmt statische Wafer sowie Wafer mit bis zu 2 ° Off-Plane-Neigung auf. Das System verfügt über integrierte Träger mit Anbaublasen-Setup-Technologie, die ein schnelles Auflösen des Photolacks mit minimalem Schmutz ermöglicht. Dies ermöglicht präzisere und gleichmäßigere Resistbeschichtungen. Das Gerät ist auch kompatibel mit Standard- und fortschrittlichen Photolackmaterialien wie Elektronenstrahl, Flüssigkristallresist, Festkörper und anderen. Für Resist-Beschichtung, SCL CD 500 enthält fortschrittliche Bewegung für die Aufrechterhaltung Substrat und Substrat Spannfutter Ebenheit, um genau gleichmäßige Beschichtungen zu gewährleisten. Der Drehkopf der CD 500 verfügt über eine breite Palette von Drehzahleinstellungen, die es dem Benutzer ermöglichen, die Geschwindigkeit an die Art und Dicke des Fotolacks anzupassen. Für Muster- und Ätzprozesse bietet die Maschine hohe Präzisionssprühniveaus mit mehreren Düsen und einer Positionsgenauigkeit von 1 μ m, um eine gleichmäßige Strukturierung der Photoresistschicht zu gewährleisten. Das integrierte Ablaufventil sorgt für eine ordnungsgemäße Entsorgung der Photolackflüssigkeit, während die integrierte Vakuumpumpe dazu beiträgt, Blasen zu minimieren und auf den Substraten einen hochgleichmäßigen und dichten Photolack zu bilden. SCL CD 500 ist ein hochpräzises, automatisiertes Photoresist-Tool, das für anspruchsvolle FPD- und Halbleiteranwendungen die besten Ergebnisse liefert. Seine fortschrittlichen Funktionen und Technologien sorgen für hochgleichmäßige und saubere Photolackbeschichtungen und -muster, bieten konsistente Prozessergebnisse und machen komplexe FPD-Anwendungen zu einem Kinderspiel.