Gebraucht SCL CD 500 #293819405 zu verkaufen
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ID: 293819405
Weinlese: 2001
Hard coater
Ignition counter: 53.213 hours
(2) Varnish tanks, cooling systems
2001 vintage.
SCL CD 500 ist eine hochauflösende Photoresist-Ausrüstung, die entworfen wurde, um hochauflösende Muster auf Festwertspeichern (ROMs) und dynamischen Zufallsspeichern (DRAMs) zur Verwendung in der Herstellung integrierter Schaltungen (ICs) genau zu erzeugen. Es ist kompatibel mit großen Prozessströmen einschließlich 0,25 um, 0,18 um und 90 nm. < br > Das System bietet eine ausgezeichnete Auflösung, die viel schärfer ist als herkömmliche Photolithographie. Durch das einstufige Verfahren auf chemischer Basis entfällt die Notwendigkeit mehrerer Belichtungsschritte, was die Produktionsrate erheblich beschleunigt. Die Einheit kann auch eine gleichmäßige Musterdichte sowie ein durch andere Photolithographie- oder E-Strahl-Prozesse unübertroffenes Maß an korrekter Strukturierung und kontrollierbarer Empfindlichkeit bereitstellen. Die Hauptvorteile von CD 500 sind die geringen Kosten, der hohe Durchsatz und die hervorragende Auflösung. Die Maschine kann ohne weiteres 2D- und 3D-Strukturen verarbeiten und somit die komplizierten Kontaktschichten und die für Speichertechnologien erforderliche hohe Interkonnektivität erzeugen. Darüber hinaus ist das Verfahren beständig gegen die Auswirkungen von Umweltverunreinigungen und Temperaturschwankungen. Zu den Schlüsselkomponenten des Photolackwerkzeugs gehören ein Autoloader, ein gemustertes ROM, ein Entwickler-Asset und eine Spin-Coating-Kammer. Der Autoloader lädt das gemusterte ROM in das Modell und ermöglicht einen automatisierten Betrieb für die Großserienproduktion. Das ROM besteht aus einer Metalloxid-Halbleiterschicht (MOS) und ist mit einem lichtempfindlichen chemischen Dotierstoff oder „Photoresist“ strukturiert. Die Entwicklerausrüstung schreitet dann das belichtete Muster in ein Photolackmuster im ROM. Die Spin-Coating-Kammer spinnt den Fotolack mit einer präzisen Geschwindigkeit auf die Oberfläche des ROM, um eine gleichmäßige Beschichtung zu gewährleisten. Durch Durchlaufen der Vorgänge kann die strukturierte Photolackschicht auf das ROM übertragen werden. Schließlich ist das System mit modernsten Automatisierungs- und Überwachungssystemen ausgestattet, die eine einfache Einrichtung und Integration in bestehende Produktionslinien ermöglichen. Dies ermöglicht eine vollständige Prozesssteuerung und erhöht die Genauigkeit und Zuverlässigkeit der Photolackeinheit. Abschließend ist die Photolackmaschine SCL CD 500 ein genaues und zuverlässiges Werkzeug zur Erzeugung von Mustern und Verbindungen hoher Dichte. Es bietet eine überlegene Auflösung und Geschwindigkeit im Vergleich zu herkömmlichen Photolithographie- und E-Beam-Prozessen. Das Werkzeug ist auch eine wirtschaftliche Wahl für die IC-Produktion und lässt sich problemlos in bestehende Produktionslinien integrieren.
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