Gebraucht SCL CD 500 #293819612 zu verkaufen
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ID: 293819612
Weinlese: 2001
Hard coat machine
Running hours: ~ 53.213
Upgraded ultrasonic system
(2) Varnish tanks
Cooling systems
Chillers
Lens holders
Racks
(6) Lenses
2001 vintage.
SCL CD 500 ist eine Photoresist-Ausrüstung, die in der Mikrofertigung verwendet wird. Dabei wird ein lichtempfindliches Material, der sogenannte Photoresist, auf ein Siliziumsubstrat aufgebracht. Dieser Photoresist wird dann einem leistungsstarken gepulsten Laser ausgesetzt, der ein Muster chemischer und struktureller Veränderungen im Photoresist erzeugt, das zur präzisen Bildung von Membranen, Schichten und anderen Merkmalen verwendet werden kann. Die CD 500 eignet sich gut für den Einsatz in der Halbleiterherstellung, da sie Strukturen mit sehr präzisen Geometrien und extrem geringer Eigenschaftsgröße herstellen kann. Der Photolack besteht aus zwei verschiedenen Komponenten, einem Sensibilisator und einem Harz. Der Sensibilisator ist ein Material, das die Laserenergie absorbiert, wodurch eine Reaktion im Photolack auftritt. Die Harzkomponente ist ein Polymer, das über dem Substrat einen Film bildet. Die Folie wird mit dem Laser strukturiert und die belichteten Bereiche der Folie werden geätzt. Dieser Ätzschritt erzeugt die gewünschte Struktur innerhalb des Fotolacks. SCL CD 500 arbeitet in einer sogenannten Direct-Write Laser Rapid Prototyping (DW-LRP). Dieses Verfahren kombiniert Elektronenstrahl-Lithographie (EBL) mit Laser Rapid Prototyping sowie konventioneller Scanning Laser Spot Lithographie (SSLL). DW-LRP ermöglicht die Erstellung sehr hochauflösender Strukturen in kurzer Zeit. CD 500 verfügt über eine 250Hz Laserwiederholrate, die es ermöglicht, Muster mit einer extrem kleinen Größe zu erzeugen. Das System ist auch in der Lage, mehrere Schichten gleichzeitig zu produzieren. Diese Fähigkeit ist vorteilhaft für Anwendungen, bei denen ein Produkt mehrere Schichten benötigt, wie eine Solarzelle oder eine Leuchtdiode. SCL CD 500 Einheit bietet eine Reihe von Umweltvorteilen. Es ist ein umweltfreundliches Verfahren, da es keine gefährlichen Schadstoffe oder Abfälle erzeugt. Außerdem verbraucht die Maschine relativ geringe Energie, was zur Senkung der Betriebskosten beitragen kann. Darüber hinaus ist das Werkzeug sehr zuverlässig und liefert konsistente Ergebnisse bei minimalem Wartungsaufwand. Insgesamt ist CD 500 ein hochentwickeltes Photoresist-Asset, das speziell für Mikrofabrikationsanwendungen entwickelt wurde. Sie bietet eine hohe Präzision und ist in der Lage, hochkomplexe Strukturen innerhalb relativ kurzer Zeit zu erzeugen. Die umweltfreundliche Bedienung des Modells steigert seinen Wert und macht es zu einem nützlichen und kostengünstigen Werkzeug für die Herstellung von Bauelementen für die Halbleiterindustrie.
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