Gebraucht SCS 6708D #9161853 zu verkaufen

Hersteller
SCS
Modell
6708D
ID: 9161853
Wafergröße: 3"-6"
Manual spinner, 3"-6".
SCS 6708D ist eine hochpräzise, hochmoderne Photoresist-Ausrüstung, die unterschiedlichsten Produktionsanforderungen gerecht wird. Es ist ein fortschrittliches, vollautomatisches System mit überlegener Produktivität für nahezu ununterbrochene Produktion. Das benutzerfreundliche Gerät umfasst automatisierte Betriebssoftware für eine verbesserte Gesamtprozesssteuerung. Die Maschine verfügt über direkte Ring-Antriebstechnik, oder DRT, für Full-Rotation Handling-Fähigkeit und eine maximale Geschwindigkeit von bis zu 30 U/min. Das DRT ermöglicht eine schnelle Be-/Entladung in der Hälfte der üblichen Zykluszeit herkömmlicher Systeme. Das Photoresist-Tool bietet überlegene Gleichmäßigkeit und Auflösung. Es ist mit einer präzisen mechanischen Spindel für eine ausgezeichnete Wiederholbarkeit der Genauigkeit und Gleichmäßigkeit ausgestattet. Die Spindel ist mit Bauteilen wie einem verstellbaren Klemmring, verstellbaren Ringbacken und Stützringarmen ausgestattet, um eine hochgenaue Positionierung der Bauteile zu gewährleisten. Das Asset bietet auch rekonfigurierbare Waferhalter, die sich an verschiedene Größen und Chemien von Substraten anpassen, wodurch spezielle Adapter entfallen. Eine geschlossene Vakuumkappe bietet Schutz vor Temperatur, kinetischen und statischen Kräften und Partikelverunreinigungen, die empfindlichen Photoresistschichten schaden können. Darüber hinaus verfügt das Modell über eine automatisierte Prüfeinrichtung, die Instrumenten- und Materialunstimmigkeiten schnell erkennen kann. Eine Vielzahl von Sensoren, wie optische, Einzelreferenz, Infrarot und Chlorbromid, minimieren die Messzeit und vereinfachen den Prozess. Dieses Testsystem wird durch eine ausgeklügelte digitale Signalverarbeitung überwacht, die selbst die kleinsten Abweichungen im Prozess erkennen und isolieren kann. Für verbesserten Durchsatz und Leistung bietet 6708D eine automatische Überwachung des Maschinenzustands. Dazu gehören Sensoren, die Unterschiede in der Werkzeugleistung zwischen Produktionsabläufen erkennen und erkannte Abweichungen kennzeichnen können. Insgesamt bietet die SCS 6708D Photoresist-Einheit eine zuverlässige, effiziente und hochgenaue Produktionsmethode mit überlegener Beschichtungsgleichmäßigkeit und -auflösung sowie fortschrittliche automatisierte Funktionen, die zur Optimierung des Prozesses beitragen. Es ist eine ideale Option für Benutzer, die eine skalierbare, hochpräzise Photolackmaschine benötigen.
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