Gebraucht SCS FA-812-1060-1 #9157134 zu verkaufen
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SCS FA-812-1060-1 ist eine Photoresist-Ausrüstung, die entwickelt wurde, um fortschrittliche Lithographie-Fähigkeiten für die Halbleiter-Wafer-Verarbeitung bereitzustellen. Es ist ein zuverlässiges und einfach zu bedienendes System, das in eine Produktionsumgebung integriert werden kann. Das Gerät verfügt über eine Hochleistungs-KrF-Excimer-Laserquelle und eine Top-Down-Scanstufe, die Wafergrößen bis zu 200mm unterstützt. Das Laserlicht wird in zwei Strahlen aufgeteilt, die dann um einen definierten Abstand getrennt und durch eine Kondensatorlinse und eine Lochblende gerichtet werden, um das gewünschte Muster im Photoresistmaterial zu erzeugen. Die Photomaske ist auf einer motorisierten Maskenstufe montiert, die mit der Abtaststufe abgestimmt ist, um eine flexible und genaue Ausrichtung zu ermöglichen. FA-812-1060-1 verfügt über eine automatische Parameteroptimierung, die sicherstellt, dass Prozessparameter je nach Bedarf auf der Grundlage der beobachteten Leistung geändert werden. Die Gleichmäßigkeit des belichteten Photolacks über den Wafer wird durch individuell programmierbare Laserleistung und Verschlusszeit optimiert. Darüber hinaus nutzt die Maschine ein High-End-Überwachungswerkzeug mit Echtzeit-Feedback, um eine erweiterte Prozesssteuerung und -verifizierung bereitzustellen. Mehrere eingebaute Sicherheitsmerkmale sind ebenfalls enthalten, wie eine Abschirmung zwischen Laser- und Wafer-Ladeposition und eine elektronisch verriegelte Verschlusstür. Die Verschlusstür ist mit einer Verriegelung ausgestattet, die verhindert, dass bei geöffneter Tür Belichtungen auftreten. Zur schnellen Abschaltung im Notfall ist auch ein Not-Aus-Knopf vorgesehen. SCS FA-812-1060-1 ist eine extrem effiziente und zuverlässige Photolackanlage, die qualitativ hochwertige Lithographieergebnisse bei optimaler Prozesssteuerung liefert. Mit seinen fortschrittlichen Funktionen und der automatisierten Parameteroptimierung ermöglicht das Modell die Herstellung von Weltklasse-Halbleiterscheiben mit minimalem Aufwand. Durch sicheren Betrieb, Flexibilität und zuverlässige Ergebnisse ist FA-812-1060-1 die perfekte Lösung für jede Produktionsumgebung.
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