Gebraucht SEMES EKPS-01 #9259252 zu verkaufen

SEMES EKPS-01 ist eine Hightech-Photoresist-Ausrüstung für eine breite Palette von lithographischen Anwendungen. Das System besteht aus einer Reihe von Komponenten, die zusammen arbeiten, um hervorragende Leistung und Präzision zu bieten. EKPS-01 Einheit umfasst einen Vakuumtisch (VBT) mit einer geschlossenen Höhenregelmaschine, die eine präzise und genaue Ausrichtung während der Verarbeitung gewährleistet. Der VBT wird von einem zweimotorigen Steuerwerkzeug mit linearer Achse angetrieben, um x-y-z-Bewegungen zu ermöglichen, die das Ausrichten von Substraten erleichtern und die Bearbeitungsgenauigkeit erhöhen. Die Photolackabgabestation bietet eine automatisierte Ausgabe der Photolacklösung mit der Fähigkeit, eine dünne, gleichmäßige Beschichtung auf Substraten unterschiedlicher Größe und Geometrie zu erzeugen. Die e-beam belichtete Arbeitsstation ist in der Lage, großflächige Muster mit schnellen Belichtungsgeschwindigkeiten und qualitativ hochwertigen Ergebnissen zu erstellen. Eine direkte isotrope Ätzstation wird für die chemische Trockenätzverarbeitung von Proben verwendet und bietet flexible Prozessparameter für fortschrittliche Herstellungsanforderungen. Schließlich entfernt eine chemische Lösungsmittelstation unerwünschte Rückstände und bereitet die Proben für weitere Arbeitsgänge vor. SEMES EKPS-01 ist eine ideale Wahl für hochpräzise Lithographie und bietet maximale Prozessgenauigkeit und Effizienz.