Gebraucht SEMES Lozix #9270506 zu verkaufen

SEMES Lozix
Hersteller
SEMES
Modell
Lozix
ID: 9270506
Wafergröße: 12"
Track system, 12".
SEMES Lozix ist eine Photoresist-Ausrüstung, die zum Strukturieren und Formen von Komponenten auf Halbleitersubstraten der nächsten Generation verwendet wird. Es besteht aus einer einzigartigen Kombination von Photoaktivierungs- und Lithographie-Komponenten, die zu einem hochwirksamen und zuverlässigen lithographischen Verfahren zur Submikron- und Raumstrukturierung führen. Das System nutzt einen lasergemusterten Photoaktivierungsprozess mit einem mehrstufigen Resist-Entwicklungsprozess, um enge Merkmalsgrößen mit höchster Präzision zu bilden. Die Photolackeinheit besteht aus einem zweistufigen Laserabduktionsverfahren, das bei einer strukturierten Belichtung des Substratmaterials mit einer optischen Strahlungsquelle beginnt. Die Intensität dieser Belichtung bestimmt den Aktivierungsgrad, den jeder belichtete Bereich des Substrats erhält. Sobald das gewünschte Belichtungsprofil erreicht ist, durchläuft das Substratmaterial dann eine Fördermaschine, wo je nach Anwendungsbedarf eine von zwei kontrastierenden Resistschichten über dem zuvor belichteten Substrat ausgebildet wird. Nach Abschluss des Verfahrens wird das Substratmaterial in die Nachlöslichkeitsstufe des Verfahrens übergehen, wo der entwickelte Resist erstarren kann und eine Reihe zusätzlicher chemischer Ätztechniken verwendet werden, um das Substrat auf die gewünschte Toleranz zu strukturieren. Der chemische Ätzprozess entfernt dann das Restrestmaterial, um das darunter liegende Substratmaterial freizulegen. Das Photoresist-Werkzeug Lozix eignet sich dank seiner hohen Genauigkeit und schnellen Bearbeitungszeiten gut für die Serienproduktion. Der Laserablations- und Resistentwicklungsprozess trägt auch dazu bei, die Verschmutzung in der Kammer zu reduzieren, die Lebensdauer des Produkts zu verlängern und Defekte zu minimieren. Darüber hinaus trägt das zweistufige Lithographieverfahren dank seiner Präzision und schnellen Geschwindigkeit dazu bei, eine hohe Ausbeute an Endprodukten zu gewährleisten. Insgesamt hilft SEMES Lozix Photoresist Asset Halbleiterherstellern, Muster präzise und schnell zu produzieren, um Kosten zu reduzieren und die Markteinführungszeit zu verkürzen.
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