Gebraucht SEMITOOL 240 / 260 / 270 #171344 zu verkaufen
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SEMITOOL 240/260/270 Photolacksysteme sind weit verbreitet in der Halbleiterindustrie 240/260/270 Photolacksysteme werden in der Halbleiterindustrie zur Präzisionsabscheidung, Auflösung und Entwicklung von Photolackfilmen auf einer Reihe von Substratmaterialien eingesetzt. Die Systeme bestehen aus mehreren Modulen und Komponenten, darunter einer Nassverarbeitungsstation, einer Photolackeinheit, einem Maskenausrichter, einem Partikelmonitor und einer Trocknungseinheit. Die Nassverarbeitungsstation ist für die Abscheidung, Auflösung und Entwicklung der Photolackfolien verantwortlich. Seine Hauptkomponenten sind eine Kammer, eine zentrale Steuerung, eine Prozessstation und ein rotierender Träger. Die Kammer wird verwendet, um die Prozeßchemie und Umwelt zu enthalten. Die Prozessstation ist für die Rührvorräte, wie Chemikalien und Lösungsmittel, mit dem Substratmaterial verantwortlich. Der rotierende Träger dient zum Transport von Substraten von der Kammer zur Bearbeitungsstation. Die Photolackeinheit, die mit einem Mikroskop mit 10X bis 500X Vergrößerung ausgestattet ist, dient zur Betrachtung und Inspektion von Substraten während des Prozesses. Die Spinn- und Backeinheit ist dafür verantwortlich, den flüssigen oder viskosen Photoresist zu spinnen und die auf dem Substrat erzeugten Muster zu backen, nachdem er dem Licht des Maskenausrichters ausgesetzt wurde. Darüber hinaus verfügt SEMITOOL 240/260/270 auch über einen Partikelmonitor, der zur Überwachung der Sauberkeit der Umwelt dient. Schließlich ist die Trocknungseinheit für die Trocknung und Aushärtung des Photoresistfilms auf dem Substrat verantwortlich. 240/260/270 ist ein prominentes Werkzeug für die Photolackverarbeitung in der Halbleiterindustrie. Es bietet zuverlässige und präzise Verfahren zur Herstellung hochwertiger Halbleiterbauelemente. Das System ist in mehreren Konfigurationen erhältlich, und sein modularer Aufbau ermöglicht eine einfache Wartung und den Austausch von Komponenten, was sowohl Zeit als auch Kosten spart. Darüber hinaus sorgen fortschrittliche Sicherheitsmerkmale für optimale Sicherheit von Personal und Ausrüstung. Das System kann mit jeder Art von Nassbearbeitungsstation, Photolackeinheit und Back- oder Trocknungseinheit verwendet werden, die alle extrem genau und zuverlässig sind. SEMITOOL 240/260/270 ist die perfekte Wahl für Unternehmen, die nach einem Photolacksystem suchen, um ihren Anforderungen gerecht zu werden.
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