Gebraucht SEMITOOL 260 #82972 zu verkaufen
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ID: 82972
Table-top SRD
Single process chamber
(2) stage controller
Single rinse, single dry
Brush motors
Ferrofluidic Rear Bowl Shaft Seal
PSC Controllers (match customers current controller)
N2 Cartridge Heater
N2 Filter
Labyrinth door seal
New Teflon DI and N2 lines
New color coded pneumatic tubing
4" rotor available for additional cost.
SEMITOOL 260 ist eine fortschrittliche Fotoresiststreifenausrüstung. Es ist ein automatisiertes, einstufiges, wirtschaftliches System zur Entfernung von Photolack von Halbleitersubstraten. Das Gerät bietet eine präzise Reinigung und Ätzung von dicken (> 0,25 μ m), dünnen (< 0,25 μ m) oder mehrschichtigen Photoresist-Anwendungen mit einem schonenden und gleichmäßigen Prozess. 260 Maschine setzt innovative Technologie zur präzisen Steuerung des gesamten Photolackzyklus ein, einschließlich Säurekonzentration, Spülwassertemperatur, Haltezeiten und Bandzyklusdauer. Das Werkzeug wird von einem Vier-Tank, geschlossenen Kreislauf Rezirkulation Asset angetrieben und verfügt über anwenderwählbare Reinigungs- und Ätzgeschwindigkeiten. Es verwendet einen fortschrittlichen, einphasigen Ätzprozess, der eine überlegene Entfernung von Photolackschichten ermöglicht. Die Betriebssoftware SEMITOOL 260 wurde entwickelt, um die Reinigungsleistung zu verbessern und Fehler während des Prozesses zu minimieren. Die Software verfügt über eine Sammlung anpassbarer Werkzeuge, die es dem Bediener ermöglichen, den Reinigungszyklus entsprechend den spezifischen Substratanforderungen zu optimieren. Es ermöglicht dem Anwender auch, aufeinanderfolgende Reinigungen zu automatisieren und regelmäßige Alarme und programmierbare Anlauf-/Abschaltzeiten einzurichten. Das Modell erleichtert den Bedienern die präzise Steuerung von Abgriff- und Rückwärtszapfzyklen für optimale saubere Ergebnisse. Der umgekehrte Hahnzyklus hilft, Reststripper zu reduzieren und Wasser von der Waferoberfläche zu spülen, was zu einer höheren Reinigungsqualität führt. Die Ausrüstung verwendet auch zwei eng überwachte Säure und saubere Zyklusbehälter, die in Tandem oder unabhängig verwendet werden können. Aus Sicherheitsgründen ist das 260-System mit einer fortschrittlichen Sicherheitseinheit ausgelegt. Diese Maschine verfügt über mehrere Sensoren und Monitore, um eine kontinuierliche und kontinuierliche Überwachung der Prozessparameter zu ermöglichen. Das Tool verwendet auch eine isolierte Reinigungskammer, die versehentliche Expositionen gegenüber schädlichen Chemikalien verhindert, sowie eine einzigartige Säurekontrolle, die den pH-Wert für konsistente saubere Ergebnisse überwacht und aufrechterhält. Neben seiner zuverlässigen Leistung ist das Modell SEMITOOL 260 auch auf Benutzerfreundlichkeit ausgelegt. Es kommt mit einfachen, einfachen Bedienelementen und intuitiver grafischer Benutzeroberfläche (GUI). Die Benutzeroberfläche erleichtert das Einrichten und Anpassen von Parametern an individuelle Anwendungen. Darüber hinaus verfügt es über eine selbstreinigende Funktion, die die qualitativ hochwertigsten Photoresist Stripping Ergebnisse zu gewährleisten hilft.
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