Gebraucht SEMITOOL 270 #9036302 zu verkaufen

SEMITOOL 270 ist eine vollautomatische Photolackausrüstung, die für zuverlässige physikalische Aufdampf- (PVD) und Ätzprozesse entwickelt wurde. Es bietet erweiterte Materialabscheidungsfähigkeiten für die Herstellung integrierter Schaltungen, MEMS, Nanotechnologie und Dünnschichtabscheidung. 270 bietet modernste automatisierte Steuerung der physikalischen Dampfabscheidung (PVD), Ätz- und Glühprozesse sowie der chemisch-mechanischen Verarbeitung (CMP). Das System verfügt über eine fortschrittliche HF-Plasmaquelle, eine robuste Roboter-Handhabungseinheit, eine In-situ-Heizung, integrierte Vorläufer und eine leistungsstarke Post-Process-Diagnose. SEMITOOL 270 ist mit einer Multifunktions-Prozesskammer ausgestattet, die in der Lage ist, hohe Materialabscheidungsraten in einer Vielzahl von Materialien wie AL, Cu, TiN und ITO bereitzustellen. Die integrierte Roboter-Handling-Maschine ist in der Lage, bis zu 30 Wafer auf einmal in Einzel- und Multi-Turn-Modi zu handhaben. Dies macht das Werkzeug effizient und bietet eine hohe Prozessflexibilität. 270 ist außerdem mit einer robusten HF-Plasmaquelle ausgestattet, die eine Niederdruckabscheidung bei niedriger Temperatur ermöglicht. Das Verfahren ist kompatibel mit Aluminiumsubstraten und in der Lage, hochwertige Materialschichten zu erzielen. Diese Option ist ideal für Situationen, in denen eine genaue Steuerung der Abscheideprozesse erforderlich ist. Die integrierte in-situ Heizanlage auf SEMITOOL 270 ermöglicht eine präzise Temperaturregelung während der Ätz- und Abscheideprozesse. Dieses Modell bietet eine gleichmäßige Temperaturverteilung, eine niedrige thermische Diffusion und eine konstante Temperatur über den Wafer. Diese Funktion ermöglicht eine reproduzierbare Verarbeitung und verbesserte Wiederholbarkeit in Ätz- und Abscheidungsanwendungen. 270 enthält auch integrierte Vorläufer, die eine automatisierte Dosierung und Lagerung von Vorläufern für die Prozesskammer ermöglichen. Diese Funktion reduziert den manuellen Handhabungsbedarf und minimiert Abfall. Darüber hinaus verfügt die Anlage über eine leistungsstarke Post-Process-Diagnostik, die eine umfassende Analyse der Prozessergebnisse während und nach dem Abscheideprozess ermöglicht. Dies gewährleistet eine gleichbleibende Schichtqualität während des gesamten Waferlaufs. Abschließend ist SEMITOOL 270 ein fortschrittliches Photolacksystem, das robuste Eigenschaften und Fähigkeiten bietet, die sich ideal für eine Vielzahl von Anwendungen in der Herstellung integrierter Schaltkreise, MEMS, Nanotechnologie und Dünnschichtabscheidung eignen. Die Multifunktions-Prozesskammer der Einheit, die integrierte Robotik, die HF-Plasmaquelle, die In-situ-Heizmaschine, die integrierten Vorläufer und die Post-Process-Diagnostik sorgen für zuverlässige, genaue und einheitliche Ergebnisse.