Gebraucht SEMITOOL 270D #9113800 zu verkaufen

SEMITOOL 270D ist eine vollautomatische Photolackausrüstung für die Halbleiterherstellung. Es ist speziell für die Handhabung von bis zu 300 mm Prozessscheiben ausgelegt und kann vier, fünf oder acht Prozessrohrleitungen mit programmierbaren Parametern aufweisen. Das System ist mit einem erweiterten SPS-Controller und einer automatischen Konfigurationsfunktion ausgestattet, um eine präzise Prozesssteuerung und Ertragsoptimierung zu gewährleisten. Dazu gehört auch eine ausgeklügelte CASSETTE® Wafer-Kommissioniertransporteinheit, die die Wafer genauer positioniert als herkömmliche Methoden. Darüber hinaus bietet die Maschine eine saubere und nicht kontaminierte Umgebung während der Waferbearbeitung. 270D wird mit einem modernsten γ-ray Balkenquellbildex-Wichtigtuer ausgestattet. Es bietet eine Reihe von Belichtungsparametern, einschließlich Fokus, Dosis, Tiefenschärfe, Größe und Form des Gerätefeldes und Ausrichtungstoleranzen. Der Wafer in trockener Umgebung wird aktinischer Strahlung ausgesetzt, um ein gewünschtes Muster und Bild zu bilden. Die Bildbelichtungsgenauigkeit liegt innerhalb von 10 μ m Tonhöhe, während die Registrierungsgenauigkeit 0,3 μ m beträgt. Das Tool ist auch mit einer integrierten Geometry Processing Unit (GPU) ausgestattet, um fortschrittliche Lithographie-Scan- und Mustertechniken wie Unterauflösungsfunktionen und Mehrfrequenzbelichtungen zu ermöglichen. Die vollautomatisierte Prozessanlage umfasst auch ein fortschrittliches Prozessmodul für die Reinigung, Entwicklung, Fotoresistenzabisolierung, chemische Lieferung von Schwimmerventilen und Konditionierung. Die Prozesskammer bietet eine kontaminationsfreie saubere Umgebung und ist mit ausgeklügelten Protokollierungsfunktionen zur Überwachung von Prozeßrezeptparametern ausgestattet. Die Dickenmessung ex situ wird auch durch den Echtzeit-Dickenmonitor in der Kammer erleichtert. Weitere Merkmale sind ein TN-Folienabscheidungsmodell mit hoher Strömungsgeschwindigkeit für die Haftschicht, eine automatisierte Dünnschichtabscheidungssteuerung mit integrierter Oberflächenverunreinigungssteuerung und eine Echtzeit-Plasmaüberwachung. Insgesamt ist SEMITOOL 270D Photoresist eine zuverlässige und effiziente Lösung für die Halbleiterherstellung. Es bietet überlegene Prozesskonsistenz und Kontrolle und bietet gleichzeitig einen zuverlässigen Waferdurchsatz. Es ist speziell auf die hohen Anforderungen der Serienanwendungen in Branchen wie MEMS, Mikroelektronik und Optoelektronik ausgelegt.