Gebraucht SEMITOOL 270F #178372 zu verkaufen

SEMITOOL 270F
Hersteller
SEMITOOL
Modell
270F
ID: 178372
Table-top Spin Rinse Dryer (SRD) Capable of processing up to 6" wafers "F" model has the class 10 poly, brush motors and the PSC-101 controller Controller Compatability: PCS-101 DI Water Recirculation: YES Motor Seal: Ferrofluidic Motor Type: Brush N2 Heater Capable: YES Resistivity Monitoring Capable: YES Rotor Type: 4 Bolt Static Eliminator Capable: YES Substrate size: 150 mm max. System Configuration: Table Top Single Bowl Specifications: 101 Controller, Digital Polypropylene cabinet Up to 6" process capability Brush motor Teflon DI and N2 lines Color coded pneumatic tubing Bowls to be electropolished Ferrofluidic Seal design 110V ready system 4 Bolt rotor design - No rotors are included DI resistivity monitor option is included Anti Static module option is included DI recirculation option is included Electropolish metal surfaces Spin dryer bowl Nitrogen manifold Mounting brackets Components: Gaskets & O-Rings for D.I. Water Manifold Nitrogen manifold Rear bowl seal Door seal Vibration dampers Color-coded pneumatic tubing Teflon lines for N2 Teflon lines for D.I. DI Nozzles N2 Filter.
SEMITOOL 270-F ist eine vollautomatische Photolackverarbeitungsanlage, die für die anspruchsvollsten Photolithographie-Prozesse entwickelt wurde. 270-F bietet mit vollautomatisiertem Betrieb und branchenführenden Prozessfähigkeiten ein Höchstmaß an Vielseitigkeit und Leistung. Mit seiner Fähigkeit, sowohl nasse als auch trockene Photoresists auf einer Vielzahl von Substraten zu verarbeiten, ist SEMITOOL 270-F die ideale Wahl für eine Vielzahl von photolithographischen Anwendungen. 270-F ist für eine maximale Temperaturregelung mit einer doppelten Temperaturzone und automatisierten Heiz- und Kühlfunktionen ausgelegt. Dies gewährleistet konsistente Entwicklungsergebnisse über mehrere Prozesse hinweg. Benutzer können die Temperaturen auch mit der Touchscreen-Benutzeroberfläche überwachen und anpassen. SEMITOOL 270-F enthält auch einen Vakuum-Desublimator, der die Konzentration organischer Verbindungen wie Butylacetat oder Methylethylketon in der Abluft reduziert. 270-F bietet auch eine Vielzahl von Prozessoptionen, die von einfacher Vorder- bis Rückseite-Photoresist-Verarbeitung bis hin zu fortschrittlicheren Anwendungen wie Dreipass-Kontaktausrichtungssystemen und Glühsystemen reichen. Band- und Tray-Transportsysteme sorgen für eine zuverlässige Handhabung von Substraten, während das einzigartige Kontaktausrichtungssystem eine Schichtdicke von bis zu 2 Mikrometern aufweist. Das Gerät bietet auch eine Vielzahl von Spin-Methoden wie einseitige, doppelseitige und Dip-Spin für die Beschichtung und Entwicklung von Prozessen. SEMITOOL 270-F ist für die Verwendung mit einer Vielzahl von organischen Lösungsmitteln konzipiert und kann nichtwässrige Lösungen wie Terpene, Toluol und Isopropylalkohol ausführen. Diese können zur optimalen Auflösung von Photoresists verwendet werden. Sicherheitsmerkmale wie Kammerspülung, chemische Rauchwäscher und Auspuffsysteme helfen, schädliche Dämpfe zu entlüften und gefährliche Chemikalien im Arbeitsbereich zu minimieren. Insgesamt ist 270-F die perfekte Lösung für alle, die eine einfach zu bedienende, vollautomatische Fotolackverarbeitungsmaschine mit robuster Temperaturregelung und einer Vielzahl von Prozessoptionen suchen. Mit seiner zuverlässigen Handhabung und Sicherheit von Substraten ist SEMITOOL 270-F eine kostengünstige und effiziente Lösung für photolithographische Prozesse.
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