Gebraucht SEMITOOL 270F #178372 zu verkaufen
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ID: 178372
Table-top Spin Rinse Dryer (SRD)
Capable of processing up to 6" wafers
"F" model has the class 10 poly, brush motors and the PSC-101 controller
Controller Compatability: PCS-101
DI Water Recirculation: YES
Motor Seal: Ferrofluidic
Motor Type: Brush
N2 Heater Capable: YES
Resistivity Monitoring Capable: YES
Rotor Type: 4 Bolt
Static Eliminator Capable: YES
Substrate size: 150 mm max.
System Configuration: Table Top Single Bowl
Specifications:
101 Controller, Digital
Polypropylene cabinet
Up to 6" process capability
Brush motor
Teflon DI and N2 lines
Color coded pneumatic tubing
Bowls to be electropolished
Ferrofluidic Seal design
110V ready system
4 Bolt rotor design - No rotors are included
DI resistivity monitor option is included
Anti Static module option is included
DI recirculation option is included
Electropolish metal surfaces
Spin dryer bowl
Nitrogen manifold
Mounting brackets
Components:
Gaskets & O-Rings for
D.I. Water Manifold
Nitrogen manifold
Rear bowl seal
Door seal
Vibration dampers
Color-coded pneumatic tubing
Teflon lines for N2
Teflon lines for D.I.
DI Nozzles
N2 Filter.
SEMITOOL 270-F ist eine vollautomatische Photolackverarbeitungsanlage, die für die anspruchsvollsten Photolithographie-Prozesse entwickelt wurde. 270-F bietet mit vollautomatisiertem Betrieb und branchenführenden Prozessfähigkeiten ein Höchstmaß an Vielseitigkeit und Leistung. Mit seiner Fähigkeit, sowohl nasse als auch trockene Photoresists auf einer Vielzahl von Substraten zu verarbeiten, ist SEMITOOL 270-F die ideale Wahl für eine Vielzahl von photolithographischen Anwendungen. 270-F ist für eine maximale Temperaturregelung mit einer doppelten Temperaturzone und automatisierten Heiz- und Kühlfunktionen ausgelegt. Dies gewährleistet konsistente Entwicklungsergebnisse über mehrere Prozesse hinweg. Benutzer können die Temperaturen auch mit der Touchscreen-Benutzeroberfläche überwachen und anpassen. SEMITOOL 270-F enthält auch einen Vakuum-Desublimator, der die Konzentration organischer Verbindungen wie Butylacetat oder Methylethylketon in der Abluft reduziert. 270-F bietet auch eine Vielzahl von Prozessoptionen, die von einfacher Vorder- bis Rückseite-Photoresist-Verarbeitung bis hin zu fortschrittlicheren Anwendungen wie Dreipass-Kontaktausrichtungssystemen und Glühsystemen reichen. Band- und Tray-Transportsysteme sorgen für eine zuverlässige Handhabung von Substraten, während das einzigartige Kontaktausrichtungssystem eine Schichtdicke von bis zu 2 Mikrometern aufweist. Das Gerät bietet auch eine Vielzahl von Spin-Methoden wie einseitige, doppelseitige und Dip-Spin für die Beschichtung und Entwicklung von Prozessen. SEMITOOL 270-F ist für die Verwendung mit einer Vielzahl von organischen Lösungsmitteln konzipiert und kann nichtwässrige Lösungen wie Terpene, Toluol und Isopropylalkohol ausführen. Diese können zur optimalen Auflösung von Photoresists verwendet werden. Sicherheitsmerkmale wie Kammerspülung, chemische Rauchwäscher und Auspuffsysteme helfen, schädliche Dämpfe zu entlüften und gefährliche Chemikalien im Arbeitsbereich zu minimieren. Insgesamt ist 270-F die perfekte Lösung für alle, die eine einfach zu bedienende, vollautomatische Fotolackverarbeitungsmaschine mit robuster Temperaturregelung und einer Vielzahl von Prozessoptionen suchen. Mit seiner zuverlässigen Handhabung und Sicherheit von Substraten ist SEMITOOL 270-F eine kostengünstige und effiziente Lösung für photolithographische Prozesse.
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