Gebraucht SEMITOOL 270S #151767 zu verkaufen

SEMITOOL 270S
Hersteller
SEMITOOL
Modell
270S
ID: 151767
Wafergröße: Up to 6"
Spin rinse dryer, up to 6".
SEMITOOL 270S ist ein anspruchsvoller automatisierter Photoresist-Spritzlack, der speziell für hochpräzise Photoresist-Beschichtungsanwendungen entwickelt wurde. Es verfügt über ein modulares Design und bietet maximale Flexibilität, so dass es entsprechend den unterschiedlichen Kundenanforderungen konfiguriert werden kann. SEMITOOL 270-S ist darauf ausgelegt, große Flächen mit einer gleichmäßigen, wiederholbaren Filmdicke zu beschichten und kann bis zu vier verschiedene Photolacktypen gleichzeitig oder nacheinander aufnehmen. Das Gerät verfügt über integrierte Sensoren und Steuerungssysteme, so dass es sehr zuverlässig im Betrieb ist. 270S Photoresist-Spritzlackierer ist mit einer rechnergesteuerten, mehrzonigen Prozesskammer ausgestattet, die auf präzise Steuerung unterschiedlicher Parameter während des Applikationsprozesses eingestellt werden kann. Die Kammer weist eine rechnergesteuerte verstellbare Volumenkammer mit einem dynamischen Drucksensor auf, der eine gleichmäßige Dicke gewährleistet. Die Volumenkammer verfügt außerdem über ein automatisches Nachfüllsystem zur automatischen Auffüllung des Chemikalienbehälters und zur Aufrechterhaltung einer über die Zeit gleichmäßigen Resistkonzentration in der Ladekammer. 270-S enthält auch eine Stickstoff-Sweep-Einheit zur Reinigung der Kammer zwischen Beschichtungslosen. SEMITOOL 270S Photolacksprühmaschine ist mit einer fortschrittlichen servogesteuerten Sprühpistole entworfen, die eine präzise und wiederholbare Anwendung des Photolackmaterials ermöglicht. Die Düse ist zum Aufbringen einer gleichmäßigen Folie mit minimaler Oxidation und Fehlerbildung ausgelegt. Die Düse weist einen rotierenden Spinner auf, der in einem konzentrischen Ring variabler Breite gelagert ist, der verstellbar ist, um gleichmäßige Beschichtungen mit unterschiedlichen Linienbreiten zu erzeugen. Zusätzlich verwendet das Werkzeug eine Mehrdüsenkonfiguration, die eine gleichzeitige Bearbeitung mehrerer Substrate ermöglicht. SEMITOOL 270-S Photoresist Spray Coater verfügt über eine benutzerfreundliche, grafische Oberfläche für flexible und intuitive Programmierung. Dies ermöglicht eine einfache Kontrolle über die Parameter, den Aufbau und den Betrieb des Coaters. Darüber hinaus nutzt die Anlage Stufen- und Wiederholungstechnologie, um konsistente Beschichtungsmuster über das Substrat zu gewährleisten und so hocheffizient zu gestalten. Schließlich ist 270S mit einem Wartungsmodus ausgestattet, um Ausfallzeiten zu minimieren und einen ordnungsgemäßen Betrieb und kontinuierliche Funktionalität sicherzustellen.
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