Gebraucht SEMITOOL 270S #178056 zu verkaufen
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ID: 178056
Table-top Spin Rinse Dryer (SRD)
Specifications:
101 Controller, Digital
Polypropylene cabinet
Up to 6" process capability
Brushless motor
Teflon DI and N2 lines
Color coded pneumatic tubing
Electropolished Bowls
Labyrinth Seal design
110V
QD rotor design - No rotors are included
DI resistivity monitor option is included
Anti Static module option is included
DI recirculation option is included
Bowl opening is 11.5" wide
Bolt pattern on the rotor is spaced out at 7.5" in diameter.
SEMITOOL 270S Photoresist Equipment ist ein Hochleistungs-Wafer-Bearbeitungswerkzeug, das entwickelt wurde, um die neueste Marktnachfrage für die Halbleiterlithographie-Verarbeitung zu erfüllen. Dieses Werkzeug ist für die Verarbeitung von bis zu 150 mm Wafern auf einer Vielzahl von Photomasken, Substraten und Beschichtungen konzipiert und ist die perfekte Wahl für lithographische Prozesse wie Ätzen, Ionenimplantation, Implantation und andere fortschrittliche Prozesse. SEMITOOL 270-S verfügt über ein 7-Achs-Roboterpositioniersystem und eine 4-Achs-Anschlagbewegungseinheit, die beide mit einem Controller verbunden sind, um einen optimalen Prozess zu gewährleisten. Die gesamte Maschine ist mit einem Motion Control Computer und einem Operator Interface integriert. Der Computer ermöglicht es dem Bediener, die Maschine fernzusteuern, indem er die verschiedenen Robotermotoren manipuliert. Das Operator Interface hingegen ermöglicht es dem Bediener, den Prozessfortschritt zu überwachen und bestimmte Parameter anzupassen. In der Waferbearbeitung ist 270S in der Lage, Lichtbelichtung, Schleuder- und Sprühbeschichtung, Vorbacken und Nachbacken, Rückseitenreinigung und -beschichtung sowie Backvorgänge nach der Belichtung effizient zu verabreichen. Das Werkzeug kann mit Geschwindigkeiten von bis zu 180 Watt pro Sekunde arbeiten und entsprechend programmiert werden. Es verfügt auch über eine fortschrittliche, automatisierte Korrektur Asset, um die Prozesskontrolle weiter zu verbessern. In Bezug auf Sicherheit und Sicherheit bietet 270-S durch eine Reihe von Hauptmerkmalen ein hohes Maß an Kontrolle und Automatisierung. Das Modell wird mit einem erweiterten Sicherheitsprotokoll geliefert, das eine unbefugte Bewegung oder Änderung der Maschine verhindert. Darüber hinaus sind die Robotermotoren mit Sicherheitsverriegelungen ausgestattet und die gesamte Ausrüstung ist auf die strengsten Brandschutzanforderungen ausgelegt. Zusammenfassend ist SEMITOOL 270S Photoresist System ein zuverlässiges, leistungsfähiges und effizientes Waferbearbeitungswerkzeug, das den neuesten Anforderungen der Halbleiterlithographiebearbeitung gerecht wird. Es bietet ein hohes Maß an Sicherheit, Genauigkeit und Kontrolle, und die fortschrittliche Computer- und Bedienoberfläche macht die Fernprogrammierung und -überwachung extrem einfach.
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