Gebraucht SEMITOOL 270S #293811564 zu verkaufen

SEMITOOL 270S
Hersteller
SEMITOOL
Modell
270S
ID: 293811564
Wafergröße: 6"
Spin Rinse Dryers (SRD), 6".
SEMITOOL 270S ist eine Photoresist-Ausrüstung für den Einsatz in der Halbleiterherstellung. Es handelt sich um ein automatisiertes System, mit dem Wafer mit einer Schutzfolie beschichtet werden. Das Gerät verwendet einen Roboterarm, um den Fotolack anzuwenden, und verfügt über eine Reihe von Funktionen, um eine gleichmäßige Filmdicke und -abdeckung zu gewährleisten. Die SERVOPAC Maschinensoftware, die den Roboterarm steuert, wird verwendet, um die Bewegungen des Roboters zu programmieren, um eine korrekte Filmdicke zu gewährleisten. Die Software verfügt außerdem über Funktionen zur Feinabstimmung der Bewegungen des Roboters für Präzisionsanwendungen und zur Überwachung der Leistung des Roboters während des Betriebs. Das Werkzeug ist in der Lage, Wafer bis 300mm Durchmesser zu verarbeiten, und es verfügt über einen modularen Aufbau, der eine einfache Wartung und Upgrades ermöglicht. Es hat auch eine Dual-Wafer-Ausrichtungsplatte, die entworfen ist, um Wafer schnell und genau auszurichten, um eine gleichmäßige Filmdicke zu gewährleisten. Dies gibt dem Asset die Genauigkeit, die für den Einsatz in der Halbleiterherstellung erforderlich ist. SEMITOOL 270-S verfügt zudem über eine „Vakuumsperre“, mit der Verschmutzungen vermieden werden können. Dies ist ein Sicherheitsmerkmal, das hilft, den Photolack und andere Chemikalien aus der Kammer zu halten, während der Wafer verarbeitet wird. Die Pumpen, mit denen die Vakuumsperre erzeugt wird, sind zuverlässig und bieten ein gleichmäßiges Vakuumniveau. Das Modell enthält auch einen Temperaturregler, um die optimale Arbeitstemperatur zu halten und einen thermischen Abbau des Photolacks zu verhindern. Der Temperaturregler sorgt für eine gleichmäßige Foliendicke und Abdeckung und hilft auch, die Ausrüstung vor Schäden durch schnelle Kühlung zu schützen. 270S verwendet eine fortschrittliche LED-Beleuchtungseinrichtung zur Bestrahlung des Fotolacks während der Verarbeitung. Dies trägt zur Gewährleistung konsistenter Belichtungswerte bei und trägt dazu bei, genaue Ergebnisse aus dem Fotolack zu erzielen. Schließlich verfügt das System über Sicherheitsfunktionen wie Notabschaltknöpfe und Warnleuchten, um die Sicherheit des Betriebs zu gewährleisten. Diese Funktionen helfen, die Ausrüstung und das Personal vor Schäden durch unsachgemäße Verwendung zu schützen. Insgesamt ist 270-S eine zuverlässige und effektive Photolackeinheit, die für den Einsatz in der Halbleiterherstellung entwickelt wurde.
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